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 激光等离子体对硅表面微纳粒子除去机理研究

罗锦锋 宋世军 王平秋 刘全喜

[摘要]激光等离子体对精密元件表面微纳米粒子的有效去除, 在纳米科研领域中有很大的应用潜力。为了深入研究激光等离子体对微粒的去除机理和条件, 采用纳秒脉冲激光等离子体, 对硅基底表面的微纳米粒子进行去除实验, 观测了...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(04):567

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