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 基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法研究

胡仕玉 曾爱军 谷利元 黄惠杰 胡国行 贺洪波

[摘要]提出了一种基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法，在椭偏成像光路中采用p偏振光在金属薄膜与空气界面产生表面等离子体共振效应，利用不产生表面等离子体共振效应的s偏振光消除背景光的影响...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(11):1108001