首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '胡松', 共找到 41个内容。

   将选定结果: 

 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量

邓钦元 唐燕 周毅 杨勇 胡松

[摘要]提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0604001

 基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析

佟军民 刘俊伯 胡松

[摘要]针对塔尔博特自成像光刻机对照明系统的特定需求, 基于成像照明光学设计理论,引入非成像光学理论思想, 建立照明系统的初始结构。利用光学设计软件Zemax对照明系统光学初始结构进行优化, 并在Lighttools中对该照明系统...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(08):082201

 基于巯基-烯材料的亚波长光栅制备方法研究

张 满 邓启凌 李志炜 庞 辉 史立芳 曹阿秀 胡 松

[摘要]针对亚波长光栅结构和特性要求,本文提出了一种基于巯基-烯材料的亚波长光栅的制备方法。该方法利用柔性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)亚波长光栅结构为压印模板,以巯基-烯材料作为压印胶,利用紫外光固化软印刷技术制备以...

 PDF全文光电工程 | 2016, 43(01):0065

 扫描积分塔尔博特光刻条纹质量影响因素模拟分析

邓茜 赵立新 唐燕 姚靖威 刘俊伯 胡松

[摘要]基于角谱衍射理论, 对扫描积分塔尔博特光刻术进行了理论分析与数值模拟。研究了扫描距离、扫描起始位置、扫描速度非匀速以及照明光源不同特性对扫描积分塔尔博特光刻所得光栅条纹质量的影响。模拟结果表明, 当扫描距...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(12):1205001

 基于复合光栅的大范围高精度对准方法

司新春 唐燕 胡松 刘俊伯 程依光 胡淘 周毅 邓钦元

[摘要]提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0105003

 基于线阵CCD的高速光刻检焦技术

陈昌龙 邸成良 唐小萍 胡 松

[摘要]随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(08):2389

 基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究

司新春 佟军民 唐燕 胡松 刘俊伯 李金龙 周毅 邓钦元

[摘要]提出了一种基于二维光栅叠栅效应的纳米光刻对准方法,用于接近式光刻实现二维同步对准。该方法采用两组周期接近的二维光栅重叠产生一组周期分布的叠栅条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,将光栅间的位移...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(09):0910001

 利用光子筛产生局域空心光束

程依光 刘俊伯 胡松 何渝

[摘要]为了寻找一种简单有效的产生局域空心光束的方法,提出了一种利用交错型光子筛产生空心光束的方法。通过光子筛的内部区域和外部区域相消达到轴上光强为零的目的。给出了光子筛的结构和设计参数,对空心光束中心暗斑尺...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(07):0705003

 选区激光熔化技术制备316L多孔不锈钢工艺及性能研究

李洋 陈长军 王晓南 张超 张敏 徐子波 胡松松

[摘要]316L不锈钢作为医用人工关节材料,具有价格低廉和综合性能优异的优点,但其在生物医学应用方面的推广和应用受到现有制备工艺的制约.采用选区激光熔化技术制备316L多孔不锈钢,分析了其显微组织构成,并对扫描间距对其力学...

 PDF全文应用激光 | 2015, 35(03):319

 基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法

冯金花 胡松 李艳丽 何渝

[摘要]随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(02):0212005

 单幅圆条纹相位展开光刻对准研究

徐锋 胡松

[摘要]针对光刻对准中产生的单幅封闭干涉条纹经相位解析后获得的包裹相位, 提出在极坐标系对其进行相位展开进而获得对准偏移量的方法.该方法首先将对准过程中两圆光栅相对移动产生条纹的相位分布从直角坐标系转换到极坐标系...

 PDF全文光子学报 | 2014, 43(11):1112002

 自适应烟丝宽度测量方法及其应用研究

邸成良 严伟 胡松 赵维一 温若愚

[摘要]香烟烟叶的切丝宽度对卷烟的物理指标和感官质量具有重要影响。针对烟丝形状狭长、姿态各异、宽度不一的特点,提出了一种自适应烟丝宽度测量方法。该方法采用大像元数量的线阵电荷耦合器件(CCD)扫描获取烟丝高清晰数字...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(07):0708004

 接近式光刻对准中的叠栅干涉测角方法

佟军民 周绍林 赵立新 胡松

[摘要]干涉测量是众多科学与工程领域广泛采用的精密计量手段。探索了一种方便可控的基于双光栅衍射的叠栅干涉相敏测角方法,可直接用于接近式光刻过程中掩模衬底的倾斜矫正及面内角调节,便于微纳米器件及微光电子系统集成...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(12):1208001

 基于干涉的同轴检焦新方法

李光 朱江平 陈铭勇 赵立新 胡松 段宣明

[摘要]针对现有离轴检焦技术在浸没式光刻方法中的局限性,提出了一种新的基于干涉的同轴检焦方法。测量光通过光刻物镜入射到硅片表面,在硅片表面反射后再次经过光刻物镜后,测量光和参考光产生干涉条纹,并被CCD接收,从而...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(12):1208005

 光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法

朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林 何渝

[摘要]双光栅叠栅条纹对准方法具有精度高、可靠性强等特点,适用于接近接触式光刻。为了实现高精度测量,实际应用中要求掩模光栅标记与硅片光栅标记高度平行。掩模光栅标记在CCD中成像通常存在一定的倾斜角。由此,在已提出...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(01):0108002

 新型聚集荧光增强芴衍生物的光谱特性及电致发光性能研究

马柱 于军胜 江龙峰 董首成 李振 胡松

[摘要]对新型聚集荧光增强芴衍生物的溶液状态下的光致发光和紫外-可见吸收光谱进行了表征, 同时对比了其在丙酮/水混合溶液中的光致发光特性。 结果表明, 当水的体积比不断提高时, 芴衍生物的丙酮/水混合溶液的光致发光光谱...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2013, 33(04):935-939

 基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究

朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林 刘旗 何渝

[摘要]针对接近接触式光刻技术的特点,提出了一种实用的反射式光刻对准方案。方案采用差动叠栅条纹对准技术,以叠栅条纹相位作为对准信号的载体。在掩模和硅片上分别设计两组位置相反、周期接近的光栅对准标记。电荷耦合器...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(09):0909001

 一种适用于数字微镜无掩模光刻的图形拼接方法

朱江平 胡松 于军胜 陈铭勇 何渝 刘旗

[摘要]针对数字投影光刻技术大面积图形曝光的需求,提出了一种基于灰度模板调制的图形拼接方法,包括图形分割、模板设计、子图形灰度调制、子图形曝光4个步骤。图形曝光前,需要将曝光图形分割为多帧大小为1024 pixel×...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(06):0616002

 一种数字光栅无掩模光刻对准方法

唐路路 胡松 徐峰 唐燕 陈铭勇 朱江平

[摘要]针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统,提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法,将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型,设计...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(03):0316002

 叠栅条纹相位分布对对准精度的影响分析

朱江平 胡松 于军胜

[摘要]光刻对准中,一般将硅片和掩模对准标记制作成周期接近的光栅,通过光栅标记叠加形成的叠栅条纹的相位信息,探测掩模和硅片的相对位置关系。在实际的应用中,叠栅条纹的方向不仅与对准标记的几何位置有关,而且还与CCD的...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(09):0912002

 基于叠栅条纹的光刻对准理论分析及标定方法

朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林

[摘要]在线光栅用于纳米光刻对准理论的基础上,为实现光栅方向的标定和掩模硅片对准,提出一种利用相位斜率消除角位移的新方法,并给出线光栅标记及其对准原理。在对准前,掩模对准标记和硅片对准标记存在角位移,重点讨论...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(06):0607001

 光刻对准中干涉条纹相位解析研究

徐锋 胡松 周绍林 徐文祥

[摘要]针对光刻对准中双光栅产生的具有多频率的干涉条纹,提出了一种基于二维解析小波变换进行条纹分析的方法。该方法首先通过二维小波变换的多尺度对条纹的多频率进行分析,并通过解析小波基函数将条纹的幅度与相位进行分...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(02):0212001

 大数值孔径光子筛偏振特性研究

唐燕 胡松 赵立新 朱江平 何渝

[摘要]根据角谱理论建立不同偏振照明条件下的光子筛矢量衍射模型。在此基础上,对入射光分别为线偏振光、径向偏振光、切向偏振光三种特殊偏振状态下的光子筛聚焦光强分布进行了模拟分析。研究结果表明,对于大数值孔径光子...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(12):1205002

 双工件台光刻机中的焦面控制技术

李金龙 胡松 赵立新

[摘要]面对可用焦深日益缩短的趋势,高精度的焦面控制技术显得尤为重要。针对双工件台光刻机中采用的焦面控制技术,介绍了基于偏振调制的光栅检焦技术及其测量原理,研究了双工件台光刻机中的调平调焦技术。基于平面拟合、...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(12):1223002

 准相位型光子筛设计

唐燕 胡松 朱江平 何渝

[摘要]提出了一种准相位型光子筛。该准相位型光子筛通过改变暗环上小孔直径与带宽的比值,对焦点处的相位分布进行调制,使通过亮环和暗环上小孔的光波在焦点处发生相长干涉,生成聚焦光斑。该准相位型光子筛无需对基底进行...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1022007

 一种自适应阈值的Canny 边缘检测算法

唐路路 张启灿 胡 松

[摘要]:针对传统Canny 算法阈值选择困难的问题,本文提出一种基于最大类间方差法的自适应同步搜索高低阈值的方法。该方法首先根据梯度直方图信息将对应的像素分为三类;其次基于改进的Otsu 算法定义评价函数,该评价函数描...

 PDF全文光电工程 | 2011, 38(05):127-132

 基于数字微反射镜器件的快速成形系统

胥光申 马训鸣 罗声 邱荣华 胡松桥 潘焕

[摘要]为实现微小零件高精度低成本快速制作,构建了新型面曝光快速成形试验系统。该系统由视图发生器、精密升降工作台及控制系统构成。利用视图发生器生成的零件截面图形作为动态掩模,对光敏树脂整层曝光固化,实现微小三维零...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(07):1892-1897

 莫尔条纹分析及其在光刻对准中的应用

马平 周绍林 胡松 徐文祥

[摘要]从莫尔条纹用于光刻对准的实际应用出发,从傅里叶光学的角度重点讨论了一般光栅及线光栅对莫尔条纹的调制规律,并对广泛应用的低频(1,-1)级莫尔条纹进行了仿真分析。最后通过仿真分析说明,在光刻对准中,对栅线重复...

 PDF全文光电工程 | 2010, 37(07):102-106

 基于矢量衍射理论的振幅型光子筛设计与分析

蒋文波 胡松 赵立新 杨勇 严伟 周绍林 陈旺富

[摘要]光子筛作为一种新兴的纳米成像器件,具有分辨力高、体积小、重量轻、易复制等优点,被广泛地应用到纳米光刻、大型天文望远镜、航空航天摄像等领域。为了追求高分辨力,须将光子筛的小孔直径做得非常小,但当光子筛的小孔...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(02):428-432

 位相型衍射光学元件设计的混合算法

蒋文波 胡松 赵立新 严伟 杨勇 周绍林 陈旺富

[摘要]针对传统的光束整形算法在设计位相型衍射光学元件时效果差的缺点,本文提出了一种适合于位相型衍射光学元件设计的新混合算法。该混合算法是将变尺度BFGS 算法融入遗传算法中,其中变尺度BFGS 算法主要用于局部搜索,...

 PDF全文光电工程 | 2009, 36(05):47-51

首页上一页12下一页尾页