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 激光辐照固态Al膜制备p型重掺杂4H-SiC

胡莉婷 季凌飞 吴燕 林真源

[摘要]通过激光辐照固态Al膜,制备了一种p型重掺杂4H-SiC,分析了Al膜厚度、激光脉冲个数对掺杂结果的影响,验证了不同工艺参数对p型掺杂层表面电学性能的调控作用。结果表明,当Al膜厚度为120 nm,脉冲个数为50时,掺杂试...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0603003

 基于成丝效应的超快激光加工技术工业化应用研究之探析

季凌飞 Amina 燕天阳 王文豪 王亭入 林真源 杨 强 胡莉婷

[摘要]激光成丝是超快激光在透明介质传输中的一种非线性光学现象,来源于光克尔效应引起的激光光束自聚焦与弱电离产生的等离子体散焦之间的动态平衡,对其超长传输物理特征非衍射性的调控在研发新一代超快激光材料加工技术...

 PDF全文光电工程 | 2017, 44(09):851

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