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   将选定结果: 

 垂直腔面发射激光器氧化孔结构对器件激射性能的影响

梁静 贾慧民 冯海通 唐吉龙 房丹 苏瑞巩 张宝顺 魏志鹏

[摘要]为实现894.6 nm低阈值、高稳定性、单模激光输出, 设计了具有不同台面刻蚀结构的垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件, 研究了台面直径和氧化孔结构对器件激射性能的影响。研究结果表明: VCSEL台面直径越大, 阈值电流越大;...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(03):0301001

 980 nm锥形半导体激光器刻蚀工艺

乔闯 苏瑞巩 房丹 唐吉龙 方铉 王登魁 张宝顺 魏志鹏

[摘要]为了解决半导体激光器传统刻蚀工艺中侧壁陡直度差和器件难以重复制作的问题, 利用湿法腐蚀与干法刻蚀相结合的刻蚀手段, 对980 nm锥形半导体激光器刻蚀工艺进行优化.通过对台面粗糙度与刻蚀速度的研究, 确定湿法腐蚀液...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(09):0914003

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