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 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差

张敏 高松涛 苗二龙 隋永新 杨怀江

[摘要]为了去除拼接干涉检测中支撑对面形检测的影响,提出了利用最大似然估计法计算支撑造成的面形误差的方法。首先,保持支撑工装不动,旋转待测镜检测各子孔径面形;然后,用最大似然估计法计算出支撑造成的面形误差;最...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(04):041204

 GAO Song-tao, WU Dong-cheng, MIAO Er-long

高松涛 武东城 苗二龙

[摘要]在高数值孔径(NA)投影光刻物镜中, 随着数值孔径的增加, 非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测, 一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超过500 μm的偶次高次非球面进行了计算全...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(03):383

 离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究

彭石军 苏东奇 苗二龙

[摘要]基于立式Fizeau 型干涉仪曲率半径测量系统,提出了一种简捷的离焦补偿算法,该算法对猫眼和共焦零位置的离焦量进行补偿,达到了提高曲率半径测精度的目的。从理论的角度分析了待测面波前像差中的离焦量与待测面位置偏...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(05):051204

 基于重力补偿的立式三平板绝对检测

苏东奇 田伟 苗二龙 隋永新 杨怀江

[摘要]为了实现高精度平面面形绝对检测,对传统的立式三平板绝对检测方法进行了重力变形补偿.通过有限元软件仿真了平板在水平放置于工装上的重力变形,并将其加入到平面绝对标定的计算中.把平面标定分成旋转对称项和旋转非对...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(11):1112003

 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前

苏东奇 苗二龙 曲艺 隋永新

[摘要]由于非共光路误差是菲索干涉仪进行高精度检测中最重要的误差因素之一,而非共光路误差是由于非理想的光学系统即干涉仪的出射波前不理想造成的,所以为了测量干涉仪的出射波前来评估干涉仪非共光路误差的大小,提出一...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(12):1208002

 高精度光学平板在三点支撑下自重变形的研究

武东城 高松涛 吴志会 彭石军 曲艺 苏东奇 苗二龙

[摘要]影响高精度光学元件重要的因素之一是支撑结构。主要研究了在三点支撑下,自重变形量与口径和厚度的关系。采用数值分析、有限元法(FEM)模型与实验验证相结合的方法完成对三点支撑下自重变形量的研究。采用薄板理论推导...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(12):1212001

 利用泽尼克位相型光瞳滤波器实现景深延拓及超分辨

刘江 苗二龙 王学亮 隋永新 杨怀江

[摘要]为了对显微光学系统实现景深延拓和超分辨,设计了一种基于泽尼克多项式的位相型光瞳滤波器,并分析了其对光学系统在焦点附近光强分布的改善。结果表明,与传统显微光学系统相比,加入泽尼克位相型光瞳滤波器后,系统...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(12):1211002

 用计算全息图检测非球面时的自补偿效应分析

高松涛 武东城 彭石军 苏东奇 苗二龙

[摘要]用计算全息图(CGH)检测非球面时,除了设计零位补偿CGH 外,还往往设计辅助调节CGH,从而可以利用干涉图来精确调节CGH 的位置。针对这种同时具有零位补偿和辅助调节功能的CGH,提出零位补偿CGH 和辅助调节CGH 之间具有...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(11):1112002

 高精度平面绝对标定

苗二龙 苏东奇 彭石军

[摘要]在高精度面形检测中,绝对标定是提高检测精度的重要方法。但在平面绝对标定中,无论是经典的三平板绝对检测还是旋转平移绝对检测都无法对平面的power 项进行绝对标定。而利用液面进行绝对标定虽然可以给出完整的平面...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(05):051203

 高精度曲率半径测量研究

彭石军 苗二龙 史振广 陈华 隋永新 杨怀江

[摘要]由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(01):011201

 亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析

彭石军 苗二龙

[摘要]针对高精度光学系统的需求,利用立式Fizeau型干涉仪,结合双频激光测长干涉仪,实现了亚微米量级的高精度曲率半径的测量。为了验证该测量系统的可靠性,分别使用两个参考镜对一系列不同曲率半径的光学零件进行了检测...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(05):0512001

 基于光强自标定移相算法检测光学面形

刘江 苗二龙 曲艺 隋永新 杨怀江

[摘要]考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(08):2007-2013

 双球面法标定立式参考球面的精度分析

谷勇强 苗二龙 隋永新

[摘要]采用双球面法对立式Fizeau干涉仪的参考球面进行标定以确定由重力、安装夹持力等导致的面形形变量,提高立式光学系统中光学元件的面形检测精度。首先,推导了双球面法标定算法;进而,理论分析和模拟计算了影响检测精...

 PDF全文光学 精密工程 | 2012, 20(03):527-533

 计算全息法标定抛物面精度分析

谷勇强 苗二龙 高松涛 隋永新 杨怀江

[摘要]非球面高精度检测是目前光学检测研究的热点和难点之一。计算全息(CGH)技术是非球面检测的重要方法,但检测精度受到许多因素的影响。对CGH检测抛物面的误差进行了深入研究。应用Zemax软件对各种检测误差进行模拟计算,...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(12):1208005

 温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响

苗二龙 谷勇强

[摘要]高精度的重复性是保证检测精度的前提,也是精密检测中最重要的指标之一。在Fizeau干涉仪中,干涉腔对环境特别是温度的变化非常敏感,温度的变化和非均匀性是测量的主要误差来源,也是影响测量重复性的主要因素之一。...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(12):1212008

 用于光刻投影物镜检测的高精度菲佐干涉仪误差分析

苗二龙 张健 谷勇强 康玉思 刘伟奇

[摘要]光刻投影物镜元件面形精度为纳米量级,因此要求检测精度为纳米到亚纳米量级。为了完成光刻投影物镜的光学元件面形检测任务,提出了利用菲佐型干涉仪进行检测的方法。通过理论分析和计算模拟,分别对相移误差、参考面误差...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(08):2029-2034

 Offner补偿器的结构设计与装调

陈旭 刘伟奇 康玉思 冯睿 魏仲伦 柳华 苗二龙

[摘要]针对90 nm节点光刻投影镜头中使用的非球面存在高次项,且与理想球面偏离量较大的特点,基于像差补偿理论,设计了一种三片式结构的Offner补偿器来实现非球面的高精度检测。采用等量轴向球差补偿非球面各阶系数的方法,...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(01):88-93

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