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 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究

范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山

[摘要]短波长、高光子能量的ArF 准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF 准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(02):0202001

 高能窄带激光系统中光谱纯度检测的实验研究

吴月婷 范元媛 刘广义 周翊

[摘要]针对高能窄带激光系统对光谱纯度检测的需求,提出通过精确测量激光光谱能量分布情况分析光谱纯度的方法,并进行了相关实验研究。该光谱纯度检测装置主要由中阶梯光栅、精密移动刀口、灵敏功率计等组成,实验利用该装...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(07):073002

 相干长度连续可调的高稳定性固体激光器

翟晔 范元媛 王倩 周翊

[摘要]提出了一种基于光谱色散原理调节激光相干长度的固体激光器。采用传统色散元件(光栅和多块三角棱镜)组成相干长度调节模块,通过将其置于激光谐振腔内代替一面腔镜,利用棱镜的扩束特性和光栅的色散特性实现对激光相...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(09):0902012

 双包层光纤光栅的制备及其高功率光纤激光实验研究

范元媛 周军 何兵 顾锡嘉 薛宇豪 李震 魏运荣 董景星 楼祺洪

[摘要]以248 nm的KeF准分子激光器为光源,基于相位掩模法,研究了大模场面积双包层光纤(LMA-DCF)光栅的刻写技术。在20/400 μm的LMA-DCF中制备出中心波长1076.11 nm,基模反射率大于99.9%,3 dB带宽0.32 nm的光纤布拉格光栅(FB...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(09):2395-2399

 宽带可调谐掺镱双包层光纤激光器

范元媛 叶陈春 蔡志平 吴彩缘 罗正钱 戴贤哲

[摘要]采用高功率975 nm多模半导体激光器(LD)作为抽运源, 以大模场掺Yb3+双包层光纤(YDCF)作为激光增益介质, 运用能够承受较高功率运行的利特罗(Littrow)光栅外腔调谐结构, 实现了宽带可调谐激光输出。实验中, 双包层光纤采...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(01):96-99

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