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 三维非等温多孔层的红外测温误差分析

李 洋 夏新林 范 超 陈 学 谈和平

[摘要]以太阳能多孔吸热器等热利用系统为研究背景, 针对多孔层表面的红外测温问题, 基于反向蒙特卡罗法建立了三维非等温各向异性散射多孔层的红外测温模型, 讨论了散射类型、多孔层厚度、基材发射率、孔隙率、孔径等物理性...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0504001

 泡沫镍孔隙尺度光谱辐射特性的实验与数值研究

李洋 夏新林 孙创 范超 谈和平

[摘要]实验测量了不同厚度的泡沫镍在0.4~2.2 μm波长的法向-半球反射率/透射率,采用蒙特卡罗法对泡沫镍的计算机断层扫描结构进行孔隙尺度辐射传输建模,对比研究了泡沫镍辐射特性随入射光谱和样品厚度的变化,计算得到了泡...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(04):0424002

 飞秒激光剥蚀-多接收电感耦合等离子质谱原位微区分析青铜中铅同位素组成-以古铜钱币为例

陈开运 范超 袁洪林 包志安 宗春蕾 戴梦宁 凌雪 杨颖

[摘要]建立了飞秒激光剥蚀-多接收电感耦合等离子质谱(fLA-MC-ICPMS)铅同位素原位微区分析方法, 分别利用溶液法(SN-MC-ICPMS)和激光剥蚀法(fLA-MC-ICPMS)对15个铜(黄铜, 青铜)国家标准物质进行了实验分析, 测试的结果表明Cu...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2013, 33(05):1342-1349

 光电集成光接收机前端及限幅放大器的研制

范超 陈堂胜 杨立杰 冯欧 焦世龙 吴云峰 叶玉堂

[摘要]基于国内的材料生产和半导体工艺条件,研制了10 Gb/s光电集成(OEIC)光接收机前端,并采用耗尽型赝配高电子迁移晶体管(PHEMT)设计并实现了限幅放大器。光接收机前端组成形式为金属-半导体-金属(MSM)光探测器和电流模跨阻...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(03):777-781

 5Gb/s单片集成光接收机前端模拟仿真及研制

范超 陈堂胜 陈辰 焦世龙 陈镇龙 刘霖 王昱琳 叶玉堂

[摘要]基于0.5μmGaAs PHEMT标准工艺研制了850nm单片集成光接收机前端,集成方式为PIN光探测器和跨阻放大器。论文依据已发表的文献数据为基础并借助SILVACO公司的模拟软件建立探测器模型,实验结果表明,模型和实测结果对比有...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(11):29-32

 单片光电集成电路的激光微细加工装置的改进

范超 叶玉堂 吴云峰 焦世龙 王昱琳 刘霖 陈镇龙

[摘要]将激光微细加工“直接写入”、“低温处理”的优势,应用于单片光电集成电路(OEIC)的制作,有利于解决其中的光电兼容问题。详细介绍了本课题组多年来在激光微细加工制作领域方面所取得的进展,完善了实验系统,包括硬件平...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(s1):227-230

 半导体激光诱导液相腐蚀精度的提高方法

谢兴盛 陈镇龙 叶玉堂 刘霖 吴云峰 范超 王昱琳

[摘要]从半导体激光诱导液相腐蚀的工艺原理出发,对影响刻蚀精度的主要因素进行了分析研究,从刻蚀图像分辨率、侧壁垂直度及底面平坦度、表面均匀化三个方面提出了改善刻蚀精度的方法。

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2006, 43(11):28-32

 激光诱导液相电极腐蚀新方法

陈镇龙 叶玉堂 刘霖 范超 田骁 吴云峰 王昱琳

[摘要]提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法-电极腐蚀法.电极腐蚀法是指进行激光化学液相腐蚀时,在腐蚀溶液中添加电极,以吸引反应中间离子脱离基片表面,实现腐蚀的持续稳定进行.理论分析和实验结果都表明,电极腐蚀法可以有效地...

 PDF全文光电工程 | 2006, 33(12):136-140

 激光化学液相次序选择腐蚀新方法

刘霖 叶玉堂 刘娟秀 赵素英 范超 吴云峰 王昱琳

[摘要]提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法——次序选择腐蚀法。次序选择腐蚀是指在激光化学液相腐蚀中,腐蚀溶剂不是混合后同时作用于基片,而是按照溶剂的性能,分先后对基片进行腐蚀。实质上是采用微处理(表面处理)再进行...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(01):49-52

 微小激光加工区辐射测温准确性的提高

赵爱英 叶玉堂 吴云峰 王昱琳 张雪琴 范超 焦世龙

[摘要]利用辐射测温系统进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响,使得实验测得的温度分布远远低于实际值,为了提高温度测量的准确性,提出了一种估计真实温度分布的新方法.这种方法主要包括:将原有探测...

 PDF全文光电工程 | 2006, 33(01):6-9

 湿法腐蚀进程的红外热像学研究

范超 叶玉堂 刘霖 陈镇龙 焦世龙 吴云峰 王昱琳 田骁

[摘要]提出了一种研究湿法腐蚀进程的新方法——红外热像法。在湿法腐蚀中,金属或半导体基片浸泡在化学试剂中,由于化学能的作用,会在溶剂中产生热能,从而发出红外辐射,利用红外热像仪,将探测到的红外辐射信号送至计算机进行...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(09):1350-1353

 消除半导体激光诱导腐蚀晶向影响的两步腐蚀新方法

刘霖 叶玉堂 吴云峰 陈镇龙 范超 王昱琳

[摘要]提出了一种消除激光化学诱导液相腐蚀晶体取向影响的新方法——两步腐蚀法。激光化学液相两步腐蚀法实质上是加长非晶向方向图形的腐蚀时间,保证与晶向方向腐蚀程度一致。实验结果表明,晶体取向对激光化学诱导液相腐蚀...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(10):1565-1568

 双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化

王昱琳 叶玉堂 吴云峰 赵爱英 焦世龙 范超

[摘要]激光诱导扩散中,当入射激光光强为高斯分布甚至均匀分布时,微小扩散区的温度分布不均匀.由于扩散系数是温度的函数,必将导致扩散后杂质浓度分布的均匀性较差,无法制作出高性能的p-n结.提出采用多次激光诱导扩散的积分效...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2006, 18(01):6-10

 杂质Zn在InP中的扩散机制

赵爱英 叶玉堂 吴云峰 王昱琳 张雪琴 范超 焦世龙

[摘要]介绍了杂质Zn在InP中的两种扩散机制,间隙-替代机制和Kick-out机制。InP为n型时,扩散机制为间隙-替代式;InP为p型时,扩散机制为Kick-out式。重点介绍了三种不同模型,解释Zn在InP中通过间隙-替代机制进行扩散时,空穴浓...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2005, 42(09):39-42

 激光化学诱导液相腐蚀新方法

刘霖 叶玉堂 赵素英 刘娟秀 范超 吴云峰 王昱琳

[摘要]提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法--抗蚀膜掩蔽法.抗蚀膜掩蔽法是指在激光腐蚀中,用抗蚀膜来实现对激光腐蚀区域的控制.理论分析和实验结果都表明,抗蚀膜掩蔽法可以有效地控制激光化学腐蚀的图像形状;因不需要对激光光...

 PDF全文光电工程 | 2005, 32(10):89-92

 半导体基片表面微小高温区域的红外测温系统

吴云峰 叶玉堂 焦世龙 杨先明 秦宇伟 范超

[摘要]利用红外辐射测温原理,设计成半导体基片上激光焦斑温度不接触测量系统.该系统由透镜成像系统、探测器、精密电动平台及相关电路和软件组成,其测温范围大,温度分辨力可达0.2K,还可得到温度-时间关系曲线;可自动测量热斑...

 PDF全文光电工程 | 2003, 30(06):32-35

 连续波CO2激光辅助AuGeNi-InP合金

叶玉堂 吴云峰 吴泽明 杨先明 范超 秦宇伟 方勇文 郑华 李莹波

[摘要]利用激光辅助合金的方法,生成InP表面AuGeNi-InP合金,并形成良好的欧姆接触,上下表面面间电阻为5.8 Ω.研究了合金工艺参量(如合金时间、合金温度、镀膜厚度等)对形成欧姆接触性能的影响.

 PDF全文光学学报 | 2002, 22(10):1263-1265

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