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 臂型网格结构增强石墨烯电调制太赫兹透射

邹仪宣 董连和 夏良平 刘松林

[摘要]为提高单层石墨烯薄膜电控太赫兹调制器的调制深度, 提出一种臂型金属网格微结构与石墨烯结合的太赫兹波透射调制器件.通过臂型金属网格结构激发的共振耦合场增强石墨烯与太赫兹波的相互作用, 使石墨烯在外加电压调制下...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0223002

 浸没式光刻照明系统中非球面变焦系统设计

李美萱 王丽 董连和

[摘要]设计了一种非球面变焦光学系统, 解决了NA 1.35浸没式光刻照明技术中内外相干因子调节、能量利用率不足、模块使用寿命短的问题, 所设计的非球面变焦系统包括三个镜组、光阑面和像面.系统入瞳直径42 mm, 视场角1.89...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(01):0122002

 车削掩模的石英非球面微透镜阵列制作方法

王 灏 董连和 朱国栋 张 东 张为国

[摘要]为解决石英非球面微透镜阵列加工所面临的工艺可控性差且面型精度不高这两大难点,提出了一种基于车削掩模刻蚀的石英玻璃元件制作方法。该方法主要使用了单点金刚石车削加工技术与反应离子刻蚀技术,研究了掩模材料车...

 PDF全文光电工程 | 2018, 45(04):170671

 光刻曝光系统中新型光可变衰减器的研制

李美萱 王丽 董连和

[摘要]在超大规模集成电路中, 为满足数值孔径为1.35、波长为193 nm的光刻曝光系统45 nm的成像分辨率要求, 设计了一种新型光可变衰减器, 用于控制系统的光能透射率, 调整曝光能量。该衰减器在光入射角为20°~40°时...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(01):0103002

 基于石墨烯-金属混合结构的可调超材料吸波体设计

王越 冷雁冰 董连和 王丽 刘顺瑞 王君 孙艳军

[摘要]利用石墨烯与金属相结合的方法提出了一种新型超材料吸波体结构,通过改变外加偏置电压来改变石墨烯的费米能级,在微波段分别实现了单频和宽频的振幅可调性,并阐述了其电磁吸波及振幅可调的机理。对单一频段下的超材...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0716001

 利用截头圆锥形仿生蛾眼结构提高LED光提取效率

刘顺瑞 王丽 孙艳军 王君 王越 吴天祺 冷雁冰 董连和

[摘要]为提高发光二极管(LED)光提取效率, 根据等效介质理论在LED钝化层(SiNx)表面设计并制作了一种截头圆锥形微结构阵列。通过模拟重点分析了微结构的底面占空比、底面直径、高度和倾角对提高LED光提取效率的影响, 得出微结...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(01):0122001

 非球面技术在浸没式光刻照明系统中的应用

李美萱 王丽 董连和 赵迎

[摘要]NA1.35浸没式光刻照明系统是超大规模集成电路的核心设备, 为了实现从ArF激光器发出的光束经过一系列模块传输后到达掩模面的能量满足光刻曝光系统的要求, 需要在系统中引入非球面透镜, 以减少镜片数量, 提高能量利用率...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(11):1118003

 平面波透射聚焦超表面结构设计

李哲 董连和 孙艳军 冷雁冰 王丽 胡一楠

[摘要]为实现单个平面透镜在10.6 μm波长处的会聚功能,本文设计并制备了一种一维亚波长光栅面型超表面(electromagnetic meta-surface)。基于电磁谐振现象,利用双条形介质耦合结构模型设计了会聚超表面单元结构,并采用FDTD ...

 PDF全文光散射学报 | 2017, 29(02):167

 镁铝尖晶石的塑性域磨削

马振芳 王丽 姜雪 董连和

[摘要]为了避免和减小镁铝尖晶石在研磨工艺中产生的亚表面损伤, 研究了合理控制磨削参数, 实现镁铝尖晶石塑性域磨削的方法。分析了镁铝尖晶石的脆塑转变机理, 采用不同尺寸规格的金刚石砂轮磨粒和改变砂轮进给量等参数进行...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(04):963

 光纤公共电视天线传输系统中短波通截止滤光片

吴博琦 董连和 孙艳军 冷雁冰 王丽 张恒煦

[摘要]短波通截止滤光片(SWPF)能够对公共电视天线(CATV)传输系统中的不同信号进行抑制和区分,是光纤CATV传输系统中的重要组成器件。为了降低传输噪声,改善信号传输质量,针对传输系统中截止滤光片的参数要求,选择适合的...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(02):0207001

 新型小尺寸窄带偏振分光器在光纤通信中的应用

李美萱 董连和 张 雷 冷雁冰

[摘要]在光纤通信中, 为了在不改变调制波长范围的基础上仍能实现更多数据通道的波分复用, 设计了一种新型的小尺寸窄带偏振分光器, 用于对现有的数据通信网络进行扩容以及提高光信号的信噪比。 在该分光器上蒸镀了两种新设计...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2016, 36(12):4072

 基于移动掩模曝光的聚酰亚胺连续微结构刻蚀工艺研究

谢玉萍 吴鹏 杨正 尹韶云 杜春雷 董连和

[摘要]为实现在聚酰亚胺薄膜上制备连续面形的微透镜结构, 开发了一种薄膜光刻刻蚀的工艺方法.首先利用移动掩模曝光得到连续面形的光刻胶微浮雕结构, 再通过反应离子刻蚀技术将微结构高保真度、低粗糙度地转移到PI薄膜上.为...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(09):0922004

 红外遥感器网状微结构制作工艺

吴博琦 董连和 孙艳军 冷雁冰 王丽

[摘要]为了满足航天红外遥感器光学元件透过率高、散热性好的要求,提出一种具有波长选择特性的网状微结构。采用等效介质理论、数学建模理论方法设计网状微结构特征参数,并通过Matlab软件辅助模拟微结构表面光谱辐射特性。...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(12):124102

 基于矩形微透镜阵列的红外焦平面集成技术研究

孙艳军 陈哲 冷雁冰 董连和

[摘要]微小型化是红外焦平面探测器发展的必然趋势, 微小型化将使目前焦平面阵列存在的占空比小、光能利用率低的问题体现的更加明显, 针对这一状况, 提出一种利用分子间引力的光胶技术将矩形孔径球面微透镜阵列集成于红外焦...

 PDF全文红外技术 | 2014, 36(03):225-228

 电子束蒸发沉积CdS掺Cl-薄膜及其性能研究

陈哲 董连和 孙艳军 冷雁冰

[摘要]以CdS、CdCl2混合物为薄膜材料运用电子束蒸发法,制备了不同比例的CdS掺Cl-薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、四探针测试仪和紫外可见光光谱仪,对所制备薄膜的结构、光学及光电导性能进行了测试。结果表明:采用此方法...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(06):0631001

 背光模组LED侧照明微棱镜膜的研究

季振强 董连和 王丽 吴博琦 尹航

[摘要]在液晶显示器背光模组LED侧照明中, 为了减小近光源处明暗相间非混光区对导光板有效均匀照明面积的影响, 对导光板入光面处微结构进行研究。设计了一种具有阵列棱镜结构的微棱镜膜, 在不改变LED与入光面距离以及相邻LE...

 PDF全文液晶与显示 | 2014, 29(04):533-537

 方形孔径微透镜阵列与红外焦平面集成技术研究

孙艳军 陈哲 冷雁冰 董连和

[摘要]针对红外焦平面阵列自身存在的占空比小、光能利用率低的问题,提出利用光胶技术将方形孔径球面微透镜阵列与红外焦平面集成。从理论角度分析了微透镜阵列集成的聚能效应。设计“栅线”和“十字”双对准标记,采用衍射...

 PDF全文半导体光电 | 2013, 34(06):954-957

 用于红外焦平面的正方形孔径球面微透镜阵列研究

孙艳军 冷雁冰 陈哲 董连和

[摘要]针对目前红外焦平面光敏阵列中存在的占空比小、光能利用率低的实际问题,展开了正方形孔径球面微透镜阵列制作及其与红外焦平面阵列集成应用的研究.本文从红外焦平面光敏阵列特点入手,对比分析了正方形孔径相比于传统...

 PDF全文光子学报 | 2012, 41(04):399-403

 硅基自由曲面光学微透镜阵列制作及光学性能研究

孙艳军 冷雁冰 陈哲 董连和

[摘要]针对自由曲面无固定解析式的特点,根据感光材料的光化学作用原理,以及曝光能量与曝光深度的制约关系,提出采用变剂量曝光的光刻方法制作自由曲面光学微器件。从光传播理论出发,分析了曝光过程光刻胶中光能量分布规...

 PDF全文红外技术 | 2012, 34(01):44-47

 蓝宝石红外窗口抗反射浮雕结构研究

孙艳军 冷雁冰 董连和

[摘要]采用相应技术,在红外材料表面制成的亚波长浮雕结构能实现红外波段的减反功能。在恶劣环境中,红外窗口采用该结构代替红外减反膜能够提高其抗蚀、抗冲击等性能。通过等效媒质理论设计亚波长浮雕单元结构,采用光刻及...

 PDF全文红外技术 | 2011, 33(02):92-95

 频率选择表面的分析方法和仿真技术研究

孙艳军 董连和 陈宇 冷雁冰

[摘要]采用有限元法对频率选择表面进行分析,研究Ansoft HFSS软件用于频率选择表面仿真的可行性。以六边形单元频率选择表 面为实例探索Ansoft HFSS软件仿真频率选择表面的方法及过程。采用光刻技术制作出六边形单元频率选择...

 PDF全文红外 | 2010, 31(03):24-29

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