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 波面干涉测量中的可变像差补偿技术

陈善勇 卢劲丰 薛帅

[摘要]以非球面为代表的复杂面形在现代光学系统中的应用越来越广泛,因为它比球面提供了更多的设计自由度,可用更少的元件达到更优的成像质量。然而非球面的多样性也带来了面形测量的难题,传统的零位测试没有灵活适应不同...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(04):040004

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