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 激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石过程中声发射信号检测试验

罗志良 谢小柱 魏昕 胡伟 任庆磊 江伟

[摘要]利用声发射仪对脉冲光纤激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石的过程进行了试验研究。在激光诱导背向湿式刻蚀蓝宝石的过程中检测到的声发射信号包含丰富的特征信息; 利用声发射信号的幅度、能量计数和撞击计数等特征参数对激光...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(04):0402003

 脉冲光纤激光控制断裂切割超薄钛酸锶陶瓷基片

江伟 谢小柱 魏昕 胡伟 任庆磊 翁清

[摘要]钛酸锶陶瓷是软脆难加工的材料,机械加工容易导致表面产生划痕和破裂。采用主控振荡器的功率放大器(MOPA)脉冲光纤激光控制断裂切割钛酸锶陶瓷基片,通过实验得到了激光控制切割机理。首先用激光扫描去除材料,形成...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(05):0503008

 紫外激光加工陶瓷刀具表面微织构的实验研究

刘泽宇 魏 昕 谢小柱 华显刚 洪继伟

[摘要]为了得到紫外激光在陶瓷刀具表面加工微织构的过程中,激光能量密度、扫描速率、扫描次数和频率对微沟槽尺寸的影响规律,采用单因素实验方法进行了紫外激光加工陶瓷刀具的工艺实验,确定了使用355nm波长紫外激光器在陶...

 PDF全文激光技术 | 2016, 40(04):550

 红外脉冲激光诱导背面湿式刻蚀加工蓝宝石的工艺规律研究

谢小柱 车荣泓 魏昕 胡伟 任庆磊

[摘要]蓝宝石具有高耐磨性、高硬度、高熔点及化学性能稳定等特点, 是重要的光学元件和半导体衬底材料, 广泛应用于工业、国防和科研等领域。传统的机械加工易产生裂纹、碎片和刀具易磨损等问题, 化学刻蚀法的加工效率又较低...

 PDF全文应用激光 | 2015, 35(02):236

 355 nm紫外激光抛光Al2O3陶瓷作用机理的实验研究

华显刚 魏昕 周敏 谢小柱

[摘要]陶瓷材料的性能优越,但是表面质量差,采用短波长激光抛光技术可以有效提高陶瓷材料表面质量。针对紫外激光抛光Al2O3陶瓷过程中可能存在的熔化、汽化、微裂纹、材料的熔融飞溅和光化学作用等不同的作用形式进行了实验...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(12):1203002

 脉冲绿激光划切蓝宝石基片的工艺参量研究

谢小柱 高勋银 陈蔚芳 魏昕 胡伟

[摘要]为了提高划切蓝宝石的成品率和划切效率, 研究了脉冲绿激光(波长532nm)的偏振性、脉冲激光能量、激光焦点位置、扫描速率、扫描次数等工艺参量对蓝宝石基片划切质量的影响。结果表明, 脉冲绿激光划切蓝宝石基片时, 扫描...

 PDF全文激光技术 | 2014, 38(05):632-637

 355nm紫外激光抛光Al2O3陶瓷工艺的研究

周敏 魏昕 谢小柱 胡伟

[摘要]紫外激光抛光Al2O3陶瓷可以有效地降低加工中的热影响区、防止微裂纹的产生。为了得到不同激光工艺参量(激光能量密度、扫描速率、扫描间隔)对Al2O3陶瓷抛光表面粗糙度的影响规律, 采用单因素实验方法进行了355nm紫外激...

 PDF全文激光技术 | 2014, 38(04):556-560

 激光加工陶瓷刀具表面微织构的发展现状与前景

华显刚 魏昕 谢小柱 刘泽宇 洪继伟

[摘要]高速切削已经成为21世纪机械制造业的主流发展方向,而高速切削刀具仍然是限制淬硬钢等难加工材料的切削效率提高的关键因素。仿生摩擦学的出现,为刀具表面减摩技术带来了新的研究方向。针对陶瓷刀具、高速切削技术和微...

 PDF全文应用激光 | 2014, 34(06):602

 激光诱导空泡技术研究和应用新进展

谢小柱 苑学瑞 陈蔚芳 魏昕 胡伟 胡满凤 高勋银

[摘要]可控性强的激光诱导空泡可用于科研和工程实践。阐述了激光诱导空泡中蒸气空泡及等离子空泡的产生机制,分析了其液体属性以及外界环境因素对激光诱导空泡产生过程的影响规律,介绍了激光诱导空泡技术在微电子行业、生物...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(08):080017

 脉冲绿激光划切蓝宝石基片过程研究

谢小柱 黄显东 陈蔚芳 魏昕 胡伟 车荣泓

[摘要]采用波长为532 nm的脉冲绿激光对蓝宝石基片进行划切加工。首先研究单脉冲激光烧蚀加工蓝宝石材料,确定材料烧蚀阈值和产生裂纹阈值,分析激光能量密度与烧蚀凹坑深度和直径之间的关系,接着对纳秒绿激光烧蚀蓝宝石基...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(12):1203010

 半导体晶圆激光切割新技术

黄福民 谢小柱 魏昕 胡伟 苑学瑞

[摘要]激光切割半导体晶圆具有切槽窄、非接触式加工和加工速度快等特点,但仍然存在材料重凝、热影响区较大和易产生裂纹等问题。为了解决这些问题,分析了问题的成因,并分别从激光器、光学系统和加工介质3个方面详细介绍了...

 PDF全文激光技术 | 2012, 36(03):293-297

 蓝宝石对532nm激光吸收率的实验测量

何广涛 魏昕 谢小柱 谭伟明 宋悠全

[摘要]为了分析激光偏振化方向和激光入射角对激光吸收率、反射率和透过率的影响,采用量热法测量了蓝宝石对532nm线偏振光辐照下的反射率和透过率,并获得了相应的吸收率。比较实验中测得的反射率和理论计算值,发现两者变化...

 PDF全文激光技术 | 2011, 35(01):54-57

 衬底温度对HfO2薄膜结构和光学性能的影响

赵海廷 马紫微 李健 刘利新 张洪亮 谢毅柱 苏玉荣 谢二庆

[摘要]采用直流磁控反应溅射法,分别在室温,200,300,400和500 ℃下制备了HfO2薄膜。利用X射线衍射(XRD)、椭圆偏振光谱(SE)和紫外可见光谱(UV-vis)研究了衬底温度对HfO2薄膜的晶体结构和光学性能的影响。XRD研究结果显示:不同...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(01):71-74

 CO2激光切割模切板的表面质量

谢小柱 魏昕 胡伟

[摘要]为了评价CO2激光切割模切板表面质量,采用宏观、微观表面观察和碳元素含量测定这3种方法来研究CO2激光切割模切板表面附着炭层和激光功率、切割速度之间的关系。试验结果表明,模切板切割表面附着炭层的区域随着切割速度...

 PDF全文激光技术 | 2009, 33(01):71-73

 影响激光抛光效果的因素分析

黄加福 魏昕 谢小柱 何广涛

[摘要]激光抛光是一种非接触式抛光方法。分析了影响激光抛光效率和抛光表面质量的因素及其影响规律, 并提出激光抛光工艺参数的选择原则。激光抛光过程中, 激光能量密度、激光波长、激光脉宽、激光光束入射角、激光光束扫描...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2008, 45(12):20-24

 有机玻璃激光气化切割前沿

谢小柱 李力钧 魏昕 胡伟

[摘要]以PMMA(有机玻璃)为试件,采用CCD拍摄到CO2激光气化切割前沿的照片。研究焦点位置、切割速度和激光功率对切割前沿形状和前沿深度的影响,并建立激光能量耦合模型。结果表明,由于前沿存在多次反射,使得切割深度增加。正...

 PDF全文中国激光 | 2008, 35(06):925-930

 线偏振CO2激光对非金属材料切缝的影响

谢小柱 魏昕 胡伟

[摘要]为了研究线偏振C02激光对高吸收率非金属材料的影响,采用线偏振C02激光沿着不同的方向切割模切板,研究不同激光功率、切割速度、切割方向、辅助气体对切缝宽度的影响,同时对比线偏振激光切割低碳钢。试验结果表明,...

 PDF全文激光技术 | 2008, 32(04):0399-401

 衬底对原位氧化制备的ZnO薄膜结构和光学性质的影响

张军 谢二庆 谢毅柱 付玉军 邵乐喜

[摘要]采用射频反应溅射法在不同衬底上制备Zn3N2薄膜,然后对其原位氧化制备ZnO薄膜.利用X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)等表征技术研究了不同衬底对ZnO薄膜的结晶特性和发光性能的影响.XRD研究结...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2008, 20(04):657-660

 CO2激光气化切割非金属材料的机制分析

谢小柱 李力钧

[摘要]研究了CO2激光气化切割高吸收率非金属材料的机制。基于实验拍摄的前沿形状和切缝形状,经过理论分析建立了激光气化切割非金属材料的三维能量耦合模型,分析了实际弯曲切割前沿和两壁面对激光的反射和能量吸收过程。前...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(s1):254-258

 激光切割板材表面质量研究综述

鄢锉 李力钧 李娟 谢小柱 张屹

[摘要]从激光切割的优点、表面质量内容及其影响因素和激光切割板材表面质量研究进展进行了综述,最后说明了激光切割板材表面质量机理的研究将更加深入和透彻,尤其对于激光切割动态行为和在线监测以及三维切割的研究将倍受重...

 PDF全文激光技术 | 2005, 29(03):270-274

 激光切割金属厚板新技术

谢小柱 李力钧 张屹 刘继常 鄢锉

[摘要]介绍了激光切割金属厚板的过程,分析了存在的主要问题及产生的原因,最后从激光器、聚焦光学系统以及辅助气流的改进等方面介绍了一些激光切割厚板的新技术,为进一步的研究和工业化应用提供了技术参考.

 PDF全文激光技术 | 2005, 29(03):251-254

 Nd:YAG单脉冲激光烧蚀超硬磨料砂轮的试验研究

谢小柱 李力钧 陈根余

[摘要]采用声光调Q Nd:YAG单脉冲激光径向烧蚀树脂结合剂超硬磨料砂轮,通过Taly表面粗糙度仪测量烧蚀凹坑深度,光学显微镜观察凹坑微观形态.理论分析了烧蚀凹坑的形成机理,试验建立起了凹坑深度与脉冲功率密度之间的关系曲线...

 PDF全文中国激光 | 2004, 31(s1):254-256

 激光深熔焊接小孔孔内等离子体的实验研究

张屹湖 李力钧 谢小柱 鄢锉

[摘要]激光深熔焊接时伴随着高电量等离子体的产生。位于小孔上方的等离子体叫做等离子体云 ,而存在于小孔内部的等离子体则称为孔内等离子。本文设计了能直接观测小孔孔内等离子体光发射的实验 ,即用高功率激光焊接夹持铝膜...

 PDF全文应用激光 | 2004, 24(06):387-389

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