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   将选定结果: 

 多晶硅表面皮秒激光阵列孔绒面制备

贾天代 冯爱新 陈欢 刘勇

[摘要]为了减小多晶硅表面的反射率, 采用皮秒激光在多晶硅片表面制备阵列孔绒面, 分析了激光参数对制绒深度的作用机理, 优选出实验参数:激光功率为15 W, 脉冲频率为25 kHz, 扫描速度为0.9 m/s, 扫描次数为2。利用优选参数...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(10):1002002

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