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 宽带高阈值低色散镜的性能研究

张宇晖 王胭脂 陈瑞溢 王志皓 赵娇玲 李大伟 赵元安 朱美萍 易葵 晋云霞 贺洪波 冷雨欣 邵建达

[摘要]宽带高损伤阈值低色散镜是拍瓦激光系统中不可或缺的光学元件。系统性地研究了金属-介质镜、介质镜和组合介质镜的光学性能、色散特性、抗损伤特性以及损伤机理。介质膜能够提高金属膜的损伤阈值,银-介质低色散镜的传输...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(11):1103001

 磁控共溅射制备Si掺杂Al薄膜的应力研究

朱京涛 周涛 朱杰 赵娇玲 朱航宇

[摘要]为研制真空紫外与极紫外波段Al基薄膜光学元件,详细研究了Al基薄膜的应力特性及其优化方法。利用应力实时测量装置对共溅射技术制备的5种不同Si掺杂质量分数(0、8.97%、16.49%、28.46%、45.73%)的Al-Si复合薄膜进行应力...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(14):1431002

 基底晶态对HfO2薄膜晶向结构和力学特性的影响

郭佳露 刘晓凤 赵元安 邵建达 赵娇玲 黄昊鹏 崔岩岩

[摘要]用电子束蒸发技术在晶体及激光陶瓷两种基底上沉积了氧化铪(HfO2)单层膜,采用掠角X射线衍射(GIXRD)技术和纳米划痕仪对薄膜的晶向结构和力学特性进行了研究。实验结果表明,HfO2薄膜在单晶晶体和多晶陶瓷基底上均...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(06):0603001

 沉积速率对直流脉冲溅射钼薄膜微结构与光学性能的影响

赵娇玲 贺洪波 王虎 郭佳露 贺婷

[摘要]用脉冲直流磁控溅射方法在硅片衬底上制备了厚度相同的单层钼薄膜,结合台阶仪、X射线衍射仪、场发射扫描电镜、原子力学显微镜和紫外-可见分光光度计分别研究了不同沉积速率对钼薄膜微结构、表面形貌和光学性能的影响...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(09):0931001

 高性能偏振膜的研制

朱美萍 孙 建 张伟丽 赵元安 刘晓凤 赵娇玲 易 葵 邵建达

[摘要]综述了国内外科研人员在高性能偏振膜的研制方面开展的工作, 主要涉及偏振膜光谱性能、抗激光损伤阈值和膜层应力控制等方面的研究。针对我国神光系列装置对偏振膜的性能要求, 简述了中国科学院上海光学精密机械研究所...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):2908

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