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 预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析

苏 丹 赵江山 王 倩

[摘要]利用流体模型对ArF准分子激光气体放电过程进行了数值模拟,通过对比不同初始预电离强度下的气体放电情况,分析了预电离效应对准分子激光系统放电特性的影响,并探究了不同气体参数下的预电离效果。结果表明,初始预电...

 PDF全文半导体光电 | 2020, 41(04):517

 氟化钙晶体深紫外激光辐照损伤特性研究进展

宗慧雯 赵江山 宋兴亮 郭馨 王倩 李慧 周翊

[摘要]半导体光刻技术带动着光源逐步向短波辐射方向发展,以KrF-248 nm、ArF-193 nm光源为代表的准分子激光光刻光源逐步取代了以往基于汞灯的光刻光源,成为当前半导体光刻技术发展的主流光源。目前应用于光刻光源的光学元件...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(19):190002

 基于准分子激光绝对波长校准的寻峰算法研究

袁靖超 赵江山 李慧 刘广义

[摘要]准分子激光绝对波长校准技术中, 参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素, 寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实验研究比较了5种寻峰算法, 结果显示, 高斯非线性曲线拟合寻峰法误差最小, 算法平均误...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(07):0701003

 用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析

王倩 赵江山 周翊

[摘要]线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分。线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性。为了进一步改进准分子激光器线宽压窄模块工程化安装与调试工艺,研究了棱镜扩束器中棱镜角度偏差对系...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(04):0401012

 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究

范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山

[摘要]短波长、高光子能量的ArF 准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF 准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(02):0202001

 熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究

单耀莹 赵江山 李慧 王倩 沙鹏飞 周翊 周军 袁志军 张海波 楼祺洪

[摘要]针对准分子激光器的相关应用,对准分子激光进行光谱控制是非常必要的。相关光谱控制主要包括激光线宽窄化及激光中心波长的稳定输出,常用的线宽压窄方式是利用扩束棱镜组结合光栅构成线宽压窄模块达到激光线宽窄化的...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(04):0402008

 周期极化钽酸锂晶体腔内倍频实验研究

林嵩 赵江山 周翊

[摘要]报道了基于准相位匹配(QPM)应用的周期性极化钽酸锂(PPSLT)晶体进行腔内倍频非线性光学变换实验研究。分析比对了不同长度(3.5 mm,5 mm,10 mm)晶体倍频过程。利用3.5 mm PPSLT晶体在2500 mW 808 nm激光抽运下产生1445 ...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(11):2808-2811

 半导体可饱和吸收镜中电场的分析和计算

赵江山 张志刚 柴路 王清月

[摘要]简要介绍了在飞秒激光器中提供自启动机制的半导体可饱和吸收镜(SESAM)的主要功能特点以及相关膜层结构的发展过程; 着重阐述了半导体可饱和吸收镜膜层结构中电场分布以及反射率和反射带宽的影响,同时对三种不同结构...

 PDF全文中国激光 | 2003, 30(05):401-404

 基于半导体光二极管CaAsP的实时自相关仪

赵江山 张志刚 柴路 王清月

[摘要]阐述了利用双光子吸收原理和基于半导体(CaAsP)光二极管的自相关测量方法.与传统的使用非线性晶体和光电倍增管的二次谐波测量方法相比,测量方法更加简单、实用、可靠.在实验中得到了较好的8:1相关曲线.

 PDF全文光子学报 | 2002, 31(12):1467-1469

 半导体可饱和吸收镜辅助启动克尔透镜锁模的动力学过程

柴路 王清月 高峰 赵江山 邢歧荣 张志刚

[摘要]实验研究了带有新型宽带SESAM掺钛蓝宝石激光器克尔-透镜锁模的自启动动力学过程;获得了在阻挡-恢复过程中, SESAM启动KLM较为完整的物理图像, 并对其机理进行了分析和讨论。

 PDF全文中国激光 | 2002, 29(s1):47-49

 20MHz自启动克尔透镜锁模飞秒钛宝石激光器

郑玮 王清月 赵江山 柴路 孙敬华 张志刚

[摘要]报道了利用半导体可饱和吸收镜(SESAM)实现自启动的低重复率锁模飞秒钛宝石激光器,重复率为20 MHz,锁模脉宽42 fs.

 PDF全文中国激光 | 2002, 29(06):481-484

 用于飞秒脉冲激光腔内的啁啾镜的优化设计

赵江山 张志刚 柴路 王清月

[摘要]介绍了啁啾镜的基本原理和优化设计思想,阐述了优化设计的基本过程,并通过计算机优化计算了啁啾镜设计.具体分析了影响啁啾镜色散补偿特性的几个主要因素,如色散量、色散带宽、膜层数以及膜层的厚度变化对啁啾镜光学特...

 PDF全文中国激光 | 2002, 29(03):213-217

 用于钛宝石激光器自启动锁模的半导体可饱和吸收镜

张志刚 柴路 赵江山 孙大睿 刘永军 王清月

[摘要]报道国内首次制作的宽带低损耗半导体可饱和吸收镜(SESAM).该反射镜已经成功用于钛宝石飞秒脉冲激光器的自启动锁模运转.

 PDF全文光学学报 | 2002, 22(09):1151-1152

 全固化可调谐Yb:YAG激光器

张丽哲 戴建明 张伟力 路鑫超 王勇 赵江山 柴路 王清月 邓佩珍 陈伟

[摘要]实现了半导体激光器抽运的全固化Yb:YAG激光器的可调谐运转,当吸收抽运功率为900mW时,在中心波长1049.5nm处得到66mW的连续激光输出.采用1%的输出耦合镜时单侧抽运阈值为410mW,双侧抽运阈值为380mW,斜率效率为12.7%.对...

 PDF全文中国激光 | 2001, 28(10):873-876

 腔内反射镜色散控制的、自启动的钛宝石 飞秒脉冲激光器

张志刚 柴路 孙虹 赵江山 戴建明 邢歧荣 王清月

[摘要]报道了自行研制的色散补偿镜;并用此取代传统的腔内棱镜对,结合半导体可饱和吸收镜实现了腔内反射镜色散控制的、自启动的掺钛蓝宝石激光器的飞秒激光运转。

 PDF全文光学学报 | 2001, 21(02):253-254

 用于飞秒脉冲锁模激光器中的优化Gires-Tournois反射镜

孙虹 张志刚 柴路 赵江山 戴建明 邢歧荣 王清月

[摘要]根据飞秒脉冲锁模钛宝石激光器腔内色散补偿的要求,设定负色散镜的色散目标值,用最优化方法,设计出了负色散Gires-Toumois(G-T)反射镜.计算了光场在优化负色散G-T反射镜不同膜层内的分布.不同波长的光场分量,在优化负色...

 PDF全文光学学报 | 2001, 21(11):1384-1387

 激光二极管抽运的全固化、自启动Cr:LiSGAF自锁模激光器

张伟力 戴建明 张丽哲 柴路 王勇 赵江山 张志刚 邢岐荣 王清月

[摘要]采用激光二极管双向抽运并在腔内加入了半导体可饱和吸收体反射镜(SESAM), 实现了Cr:LiSGAF激光器的自启动、 自锁模运转。 得到了脉冲宽度为45 fs、 平均输出功率为12 mW、 脉冲重复频率为90 MHz的稳定的锁模脉冲序列...

 PDF全文光学学报 | 2000, 20(04):575-576

 采用半导体可饱和吸收镜的自启动、自锁模掺钛蓝宝石激光器

柴路 王清月 张志刚 赵江山 王明伟 张伟力 邢歧荣

[摘要]采用一种新型的宽带可饱和吸收体镜(SESAM),在国内首次实现了自锁模掺钛蓝宝石激光器的自启动运转,锁模脉冲宽度小于18 fs,并对其动力学过程进行了研究。

 PDF全文光学学报 | 2000, 20(03):431-432

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