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   将选定结果: 

 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量

邓钦元 唐燕 周毅 杨勇 胡松

[摘要]提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0604001

 基于复合光栅的大范围高精度对准方法

司新春 唐燕 胡松 刘俊伯 程依光 胡淘 周毅 邓钦元

[摘要]提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0105003

 基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究

司新春 佟军民 唐燕 胡松 刘俊伯 李金龙 周毅 邓钦元

[摘要]提出了一种基于二维光栅叠栅效应的纳米光刻对准方法,用于接近式光刻实现二维同步对准。该方法采用两组周期接近的二维光栅重叠产生一组周期分布的叠栅条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,将光栅间的位移...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(09):0910001

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