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 压电自感知微夹钳

崔玉国 郑军辉 马剑强 蔡成波

[摘要]研制了不需要外部附加微位移与微力传感器、采用自感知方法来获取压电微夹钳的钳指位移与夹持力的压电自感知微夹钳.根据压电陶瓷晶片在驱动电压与外力作用下发生变形会在其表面产生电荷的思想,提出了基于积分电荷的钳...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(07):1996

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