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 基于平面光栅尺的掩模台位置误差分析与验证

郝春晓 张文涛 王献英 黄逊志

[摘要]为实现掩模台水平向三自由度高精度的运动定位,掩模台测量系统需要建立准确的多自由度解耦测量模型。采用二维衍射平面光栅尺建立掩模台自由度位置测量系统,并主要分析平面光栅尺和读头产生的多个安装误差使测量掩模台...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(23):231202

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