首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '金春水', 共找到 45个内容。

   将选定结果: 

 小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计

陈晨曦阳 金春水 王 君 谢 耀

[摘要]近边X射线吸收精细结构(NEXAFS)谱包含了吸收原子的局域结构信息, 由于其适用范围广, 灵敏度高, 已经成为研究物质结构的重要手段之一。为了研究有机物的碳1s NEXAFS谱, 本文基于气体激光等离子体X射线光源, 采用具有...

 PDF全文中国光学 | 2018, 11(02):265

 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si 多层膜设计与制备

喻波 李春 金春水 王春忠

[摘要]针对极紫外光刻照明系统中一块小尺寸反射镜大入射角带宽的需求,采用Si层有效厚度与公转速度关系式和多层膜周期厚度与公转速度关系式,完成了宽带Mo/Si多层膜设计膜系的制备工作。在磁控溅射镀膜机上制备了一系列不同...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(04):0407001

 光纤相移点衍射干涉仪关键技术

张宇 金春水 马冬梅 王丽萍

[摘要]为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(01):0254

 极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征

王珣 金春水 李春 匡尚奇

[摘要]极紫外(EUV)反射镜在使用过程中的氧化及表面碳污染沉积,严重影响了极紫外光刻(EUVL)技术的工业应用。为了延长EUV 反射镜的稳定性与使用寿命,一般采取在Mo/Si多层膜表面添加保护层。采用直流反应磁控溅射技术,...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(03):0331001

 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化

王君 王丽萍 金春水 苗亮 谢耀

[摘要]高数值孔径(NA)、大视场极紫外光刻物镜光学系统是实现22 nm及以下技术节点产业化光刻系统的关键部件。通过对光刻物镜系统结构的分析,利用可视化对其初始结构进行分组构造。并在此基础上采用一种渐近式NA 方法获得了...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(12):1211001

 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析

代晓珂 金春水 于杰

[摘要]为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点,同时又能实现大数值孔径(NA)光学系统的检测,设计了一种新型的波面参考源(WRS),它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点,可满足大NA极紫外光刻物镜系统...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(05):855

 极紫外光学器件辐照污染检测技术

王珣 金春水 匡尚奇 喻波

[摘要]总结并讨论了极紫外光刻技术中,有关极紫外光学器件受辐照污染的"在线"检测方法。简要介绍了极紫外光刻系统的原理、反射镜膜层结构以及表面污染产生的机理; 指出光刻系统中"在线"检测的技术要求...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(01):79-88

 ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤

常艳贺 金春水 李春 邓文渊 靳京城

[摘要]为了研究特定模式下氟化物高反射薄膜的损伤机理, 采用相衬微分干涉显微镜、原子力显微镜和台阶仪对不同工艺条件下制备薄膜的损伤区域逐步进行对比分析, 在薄膜沉积温度增加后, 随着薄膜体内聚集密度的增加, 薄膜激光...

 PDF全文激光技术 | 2014, 38(03):302-306

 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用

王君 金春水 王丽萍 郭本银 喻波

[摘要]极紫外光刻投影系统中高反膜厚度一般约300 nm,远大于13.5 nm的工作波长,光能并不能完全穿透膜层入射到基底,从而引入数倍于波长的额外光程差,降低系统成像质量。从能量调制的角度提出了一种基于能量守恒定律的多层...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0811002

 极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型

王珣 金春水 匡尚奇 喻波 金方圆

[摘要]极紫外光刻(EUVL)是最有可能实现22 nm技术节点的下一代光刻技术。极紫外(EUV)光刻系统使用波长为13.5 nm,在此波段下曝光设备只能采用全反射式系统。然而,在极紫外光辐照下的光学元件,薄膜表层的碳化和氧化是导致E...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(05):0531001

 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计

代晓珂 金春水 王丽萍 于杰

[摘要]极紫外光刻光学检测通常使用光纤点衍射干涉仪,光纤衍射的圆偏振态光束可以提高干涉条纹的对比度、减小衍射球面波的像散,对于提高检测精度有十分重大意义。用穆勒矩阵分析了相位控制型偏振控制器的工作原理,得到只...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(11):1112001

 193 nm P偏振光大角度减反射膜的实现

李春 金春水 靳京城 常艳贺

[摘要]对用于193 nm减反射膜的基底材料和薄膜材料的光学性能进行了解析,同时对沉积技术和主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,并在此基础上进行了193 nm大角度入射减反射膜的设计、制备及检测,实现了入射角为68°...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(09):0907001

 193 nm氟化物薄膜的激光诱导损伤

常艳贺 金春水 李春 靳京城

[摘要]在ArF准分子激光系统的应用中,光学薄膜元件激光诱导损伤的因素很多,因此在特定模式下分析薄膜损伤机理具有重要意义。采用热蒸发方法分别制备了LaF3和MgF2单层薄膜,以及LaF3/MgF2的半反射薄膜和高反射薄膜,对沉积...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(07):0707001

 高精度光学元件支撑装置面形复现性分析与测量

王辉 周烽 王丽萍 于杰 金春水

[摘要]为了评价高精度光学元件支撑装置的面形复现性指标,进行了分析计算和实验验证。在ANSYS有限元分析软件中建立了元件支撑的物理模型,进行了支撑结构的残余应力分析以及元件面形对干扰载荷的灵敏度分析,据此计算得到了...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(12):1208001

 热蒸发紫外LaF3薄膜光学常数的表征

常艳贺 金春水 李春 靳京城

[摘要]薄膜光学常数的精确测定对于设计和制备多层薄膜具有重要意义。在JGS1型熔融石英基底上,采用热蒸发沉积方法制备了不同厚度的LaF3单层薄膜样品,利用光度法来获取弱吸收薄膜和基底的光学常数,计算得到其在185~450 nm...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(08):0807002

 点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究

张宇 金春水 马冬梅 王丽萍

[摘要]为了提高双光纤点衍射干涉仪的检测精度,需要对干涉仪装置中两个波前参考源(WRS)的系统误差进行标定。设计了波前参考源的标定过程及标定算法,通过沿被检光学系统光轴四次旋转90°求出波前参考源的沿轴旋转非对称...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(03):0308001

 热蒸发紫外LaF3薄膜光学性能和结构表征

常艳贺 金春水 李春 靳京城

[摘要]在不同的沉积温度下,用热蒸发方法在熔融石英(JGS1)上制备了LaF3单层薄膜。分别采用分光光度计测量了薄膜样品的透射率和反射率光谱,反演得出薄膜的折射率和消光系数;采用原子力显微镜(AFM)观察了样品的表面形貌,并...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(10):1007002

 照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析

卢增雄 金春水 马冬梅

[摘要]点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论,分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(08):0812001

 极紫外光刻离轴照明技术研究

王君 金春水 王丽萍 卢增雄

[摘要]离轴照明技术(OAI)是极紫外光刻技术中提高光刻分辨率的关键技术之一。为了实现考虑掩模阴影效应情况下离轴照明的优化选择,构造了一种新型实现OAI曝光的成像模型。将照射到掩模上的非相干光等效为一系列具有连续入射...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(12):1211003

 提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备

祝文秀 金春水 匡尚奇 喻波

[摘要]极紫外光刻是实现22 nm技术节点的候选技术。极紫外光刻使用的是波长为13.5 nm的极紫外光,但在160~240 nm波段,极紫外光刻中的激光等离子体光源光谱强度、光刻胶敏感度以及多层膜的反射率均比较高,光刻胶在此波段的...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1031002

 深紫外氧化物薄膜的光学特性

常艳贺 金春水 李春 邓文渊 匡尚奇 靳京城

[摘要]降低薄膜的吸收对于氧化物薄膜在深紫外波段的应用具有重要意义,为此采用离子束溅射方法分别制备了用于深紫外波段的Al2O3和SiO2薄膜,利用光度法和椭圆偏振法相结合,计算得到其在190~800 nm范围内折射率n和消光系数...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(12):1207004

 超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法

靳京城 金春水 邓文渊 喻波

[摘要]原子力显微镜(AFM)是评价亚纳米级表面粗糙度σRMS最主要的测试仪器,但其测试结果会因采样条件(采样间距、采样点数)及测量点位置变化而改变。以AFM测试超光滑光学基底随机表面为例,应用累积功率谱理论建立了确定合...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(11):1108003

 基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量

喻波 李春 金春水

[摘要]测量了Mo/Si多层膜在250 ℃下经历不同时间退火后的掠入射X射线反射谱,从中提取出特定级次衍射峰在退火过程中的相对移位,通过布拉格公式拟合,得到了Mo/Si多层膜周期厚度皮米级别的相对变化。采用扩散控制模型来描述...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(11):1107002

 用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征

邓文渊 金春水 靳京城

[摘要]对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收,分别利用原子力显微镜(AFM)和白光干涉仪(WLI)测量了CaF2衬底的表面...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(10):1002004

 193nm薄膜激光诱导损伤研究

常艳贺 金春水 邓文渊 李春

[摘要]概述了193nm薄膜激光诱导损伤的研究进展。通过对紫外到深紫外波段几种典型薄膜损伤形貌的介绍,对比分析了193nm薄膜激光诱导损伤的可能原因。指出在该波段的氧化物薄膜损伤中,吸收是导致薄膜大块损伤的重要因素,而...

 PDF全文激光技术 | 2011, 35(03):308-311

 微小孔偏差对远场波前质量影响分析

卢增雄 金春水 马冬梅 张海涛

[摘要]点衍射干涉仪(PDI)中小孔质量影响参考球面波的质量,加工和装调误差使实际小孔与理想圆孔之间产生了偏差。利用瑞利索末菲衍射公式,对因小孔加工和装调误差产生的边缘粗糙小孔和椭圆小孔的远场衍射波前质量作了详细的...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(08):0812002

 “日盲”紫外折反射全景光学系统设计

王丽萍 李春 金春水

[摘要]利用折反射全景成像系统的大视场和高噪声屏蔽特性, 研制了一套视场角为360°×(45~90°), 相对孔径为1∶2的“日盲”紫外折反射全景光学系统, 用于紫外目标探测研究。综述了紫外探测技术要素, 确定了紫外...

 PDF全文光学 精密工程 | 2011, 19(07):1503-1509

 离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片

邓文渊 金春水

[摘要]对“日盲”紫外诱导透射滤光片进行了理论设计与分析, 并分别优化了离子束溅射法沉积ZrO2、SiO2和Al薄膜的工艺。利用反射与透射光谱反演获得了ZrO2和SiO2薄膜的光学常数, 并由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air(SAS)样品的变角度...

 PDF全文光学 精密工程 | 2011, 19(12):2884-2890

 极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析

卢增雄 金春水 张立超 王丽萍

[摘要]相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度,其中小孔的直径是最主要的因素,在实际加工前,需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论,分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(10):2849-2854

 电子束蒸发和离子束溅射HfO2紫外光学薄膜

邓文渊 李春 金春水

[摘要]HfO2薄膜在紫外光学中具有十分重要的地位,不同方法制备的HfO2薄膜特性不同,可以满足不同的实际应用需求。本文分别利用电子束蒸发和离子束溅射方法制备了用于紫外光区域的HfO2薄膜,并对薄膜的材料和光学特性进行了...

 PDF全文中国光学 | 2010, 3(06):630-636

首页上一页12下一页尾页