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 光谱共焦位移传感器物镜设计

朱万彬 钟俊 莫仁芸 陈璇

[摘要]高精度非接触式位移传感器有着广泛的应用。本文讨论其中一种采用光学方法实现非接触测量的光谱共焦位移传感器,阐述该传感器的工作原理,给出了该系统的设计方法和评价方法。最后基于光学设计软件CODE V的宏语言和数...

 PDF全文光电工程 | 2010, 37(08):62-66

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