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 大连极紫外相干光源

余永 李钦明 杨家岳 王光磊 史磊 丁洪利 陶凯 汤振兴 贺志刚 陈志超 田宇欢 戴东旭 吴国荣 张未卿 杨学明 冯超 陈思 王震 谷端 陈杰 刘晓庆 兰太和 冯冽 张文艳 钟少鹏 张俊强 李林 肖诚成 李昊 赵欢 陈广花 朱海君 丁建国 黄毛毛 张伟 赖龙伟 杨夫彬 王光宏 相升旺 胡晓 刘以勇 孙森 高飞 蒋志强 周孝轩 刘永芳 吴勇华 陈志豪 王锐萍 黄大章 张猛 邓海啸 李宾 林国强 俞路阳 阎映炳 阎山川 夏晓彬 周巧根 刘波 顾强 谷鸣 方国平 冷用斌 殷立新 王东 赵振堂

[摘要]先进光源的发展在前沿科学研究中发挥的作用越来越重要。近十年来, 飞速发展的自由电子激光技术为科学家们提供了探索未知世界、发现新科学规律和实现技术变革的重要工具。建成的大连极紫外(EUV)相干光源的运行波段为5...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(01):0100005

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