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 基于Zemax仿真的激光追踪测量光学系统能量分析

陈洪芳 汤亮 孙衍强 石照耀 赵晓飞

[摘要]为满足精密测量领域精度高、可靠性强、实时性好的测量要求, 提出一种基于Zemax仿真的激光追踪测量光学系统能量分析方法。根据激光追踪测量光学系统原理, 建立激光追踪测量光学系统能量模型, 利用Zemax仿真分析非理想...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(07):0704009

 面向激光追踪测量系统二维回转轴系的误差分析及精度保证

宋辉旭 石照耀 陈洪芳 孙衍强

[摘要]为实现对数控装备测量精度的快速检测, 面向激光追踪测量系统设计了一套二维万向节式回转轴系。将高精度标准球作为反射单元固定安装在基座上, 保证了激光追踪测量系统具有较大的跟踪角度, 同时避免了轴系回转时的窜动...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(05):0504001

 高精度激光追踪测量方法及实验研究

陈洪芳 孙衍强 王亚韦 石照耀 宋辉旭

[摘要]为满足现代工业各领域对高精度、大测量范围、实时性测量的要求, 提出一种高精度激光追踪测量方法, 来实现对随动目标的精密追踪测量。基于四象限探测器的激光追踪测量系统可实时地测量入射激光光斑相对于四象限探测器...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(01):0104003

 基于激光追踪仪多站位测量的CMM空域坐标修正方法

陈洪芳 郑博文 石照耀 孙衍强 隆昌宇 杨再华

[摘要]三坐标测量机(CMM)是坐标测量技术中高效率的精密测量系统,随着超精密加工技术的发展,对三坐标测量机测量精度的要求越来越高。考虑到三坐标测量机在测量过程中的弱刚体性状态,提出了一种基于激光追踪仪多站位测量...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(03):0304003

 面向特大型齿轮的激光跟踪多站位定位

陈洪芳 闫昊 石照耀

[摘要]提出了面向特大型齿轮的激光跟踪多站位定位测量方法以提高特大型齿轮激光跟踪在位测量系统的齿轮定位精度并精确确定测量仪器与被测齿轮位置与姿态的关系。根据激光跟踪仪多站位测量提供的冗余数据优化求解空间两点间...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(09):2375

 双球渐开线样板的理论分析和应用

石照耀 张健 陈洪芳

[摘要]为确保齿轮测量仪器的高精度校准, 国际标准ISO/TR 10064-5:2005推荐了新型的双球渐开线样板。该样板采用高精度球体的部分圆弧代替渐开线, 通过误差补偿, 获得高精度渐开线以实现渐开线溯源。研究了该样板相关的理论问...

 PDF全文光学 精密工程 | 2011, 19(12):2963-2969

 激光外差干涉的非线性误差补偿

陈洪芳 钟志 丁雪梅

[摘要]为了补偿用激光外差干涉法进行纳米测量产生的非线性误差,进行了非线性误差补偿的实验研究。根据镀膜实体角锥棱镜反射光的偏振特性,推导出当激光器出射光束存在偏振椭圆化时,测量角锥棱镜以运动方向为轴线的轴向旋...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(05):1042-1047

 高加速度超精密激光外差干涉测量模型

陈洪芳 丁雪梅 钟志 谭久彬 王维雅 谢站磊 李海英

[摘要]为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型.通过分析测量棱镜三维运动对多普勒频移的影响,推导出高加速度激光外差干涉位...

 PDF全文光电工程 | 2007, 34(08):72-75

 减小外差干涉一次谐波非线性误差的方法

陈洪芳 丁雪梅 钟志 谢站磊 岳华

[摘要]为了补偿激光外差干涉纳米测量中的非线性误差,提出了一种减小非线性误差的一次谐波方法。基于全反射理论分析了镀膜实体角锥棱镜反射光偏振特性,并由此推导出角锥棱镜反射光偏振特性及测量角锥棱镜以其运动方向为轴线...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(06):1027-1030

 偏振分光镜分光性能非理想对激光外差干涉非线性误差的影响

陈洪芳 丁雪梅 钟志

[摘要]为了减小激光外差干涉纳米测量的非线性误差,必须明确偏振分光镜(PBS)分光性能非理想对非线性误差的影响机制。推导出非理想情况下偏振分光镜透射率和反射率的激光外差干涉非线性误差模型,建立了偏振分光镜分光性能非...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(11):1562-1566

 激光外差干涉检偏器旋转误差对非线性误差的影响

陈洪芳 丁雪梅 钟志 谭久彬

[摘要]为了减小激光外差干涉纳米测量的非线性误差,必须明确检偏器旋转误差对非线性误差的影响机理与消除方法。通过分析激光外差干涉检偏器旋转误差对非线性误差的影响,推导出检偏器旋转误差对非线性误差一次谐波和二次谐波...

 PDF全文中国激光 | 2005, 32(09):1281-1285

 偏振分光镜传输系数不等对非线性误差的影响

钟志 谭久彬 陈洪芳 单明广

[摘要]为了减小激光外差干涉非线性误差,必须考虑偏振分光镜透过率和反射率不等对非线性误差的影响.通过分析两臂透过率与反射率不等对测量信号的影响,推导出两臂反射率与透过率不等对激光外差干涉非线性误差一次谐波和二次谐...

 PDF全文光电工程 | 2005, 32(09):27-30

 光学倍频影响激光外差干涉测量精度的机理

钟志 谭久彬 陈洪芳

[摘要]为了同时提高激光外差干涉测量的分辨力和精度,必须深入分析光学倍频对激光外差干涉测量精度的影响机理.在此基础上,建立了光学倍频相位测量模型,从理论上证明,光学倍频能够实现对激光外差干涉信号的细分,提高测量分辨...

 PDF全文光电工程 | 2005, 32(07):27-29

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