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 电子束光刻-近场全息法制作平焦场光栅的误差分析及补偿方法

林达奎 陈火耀 刘正坤 刘颖

[摘要]在激光等离子体诊断等领域中,以平焦场光栅为核心器件的软X射线光谱仪发挥着重要作用。利用电子束光刻-近场全息法制作的平焦场光栅兼具电子束光刻线密度变化灵活,以及全息光栅低杂散光、抑制高次谐波等的特点。采用...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(05):0505003

 大尺寸熔石英采样光栅的研究进展

刘 颖 刘正坤 邱克强 饶欢乐 蒋晓龙 陈火耀 徐向东 洪义麟 付绍军

[摘要]综述了近五年来为神光装置研制大口径熔石英采样光栅所取得的主要进展。提出了大尺寸采样光栅的化学机械抛光技术, 将全息光刻-离子束刻蚀的430 mm口径采样光栅的采样效率均匀性控制在均方根值低于5%, 满足了采样光栅的...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):2896

 用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作

王宇 陈火耀 刘正坤 郑衍畅 洪义麟 付绍军

[摘要]介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺, 并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料, 将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明, 该工艺...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(04):0405001

 带有实时温度补偿功能的微型光谱仪研制

宝剑光 刘正坤 陈火耀 林继平 付绍军

[摘要]解调飞机上变栅距光栅位移传感器的微型光谱仪在受到严重的高低温冲击后会出现温度漂移.针对航空领域中变栅距光栅位移传感器的解调系统研制了一种具有实时温度补偿功能的微型光纤光谱仪.为了实现实时温度补偿,分析了温...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2015, 35(05):1409

 软X射线并联平场光栅的设计

王庆博 刘正坤 陈火耀 王宇 付绍军

[摘要]为了拓宽软X射线平场全息凹面光栅的工作波段, 提出了并联平场全息凹面光栅的优化设计方法。利用遗传算法, 将两块工作波段不同的平场光栅设计在同一基底上。两块平场光栅的工作波段分别为2~5 nm 和5~30 nm, 两者使用结...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0805001

 大面积软X射线自支撑金透射光栅的研制

邱克强 刘正坤 陈火耀 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]针对等离子体诊断及空间环境探测等领域对软X射线透射光栅的需要,采用全息光刻和微电镀技术制作了自支撑软X射线金透射光栅。在基底与光刻胶之间增加减反膜层以降低高反射基底引起的驻波效应对掩模槽形的影响,使用全...

 PDF全文光学 精密工程 | 2011, 19(11):2589-2595

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