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 MEMS热电堆芯片固晶工艺参数的优化

陈立国 姜勇涛 倪灯塔 王敏锐 孙立宁

[摘要]MEMS热电堆传感器能够实现对温度的精确测量, 固晶工艺是其中关键一环, 但目前尚缺乏有效方法精确优化MEMS热电堆固晶工艺参数。本文介绍了热电堆传感器的工作原理, 提出了对固晶工艺参数(固晶厚度和爬胶高度)的要求。...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(01):137

 SOI压阻传感器的阳极键合结合面检测

陈立国 王 挺 李亚娣 潘明强

[摘要]由于当前绝缘体上硅(SOI)压阻传感器芯片的封装质量仍依赖人工检测,本文提出了一种自动实现该项检测的视觉检测方法。分析了压阻传感器的工作原理, 研究了芯片定位精度和结合面质量对传感器性能的影响。以传感器性能...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(06):1382

 数字微流控芯片半月形驱动电极的设计

许晓威 陈立国 贺文元 陈涛 孙立宁

[摘要]为了降低数字微流控芯片的驱动电压, 将传统的方形驱动电极结构设计为半月形, 并研究了不同参数的半月形驱动电极降低驱动电压的效果。首先, 根据介电湿润的基本原理分析了不同驱动电极形状对降低驱动电压的影响。然后...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(03):633-641

 悬空零电极介电湿润芯片的设计

许晓威 陈立国 陈涛 孙立宁

[摘要]针对目前单极板数字微流控芯片驱动液滴的效果多通过数值仿真方法验证而缺乏实验支持,本文提出将单极板结构中的零电极进行悬空设计,并通过实验对比分析了设计的悬空零电极单极板结构的芯片和传统双极板结构的芯片对...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(01):138-145

 半月形电极微液滴驱动的微流控芯片

许晓威 陈立国 孙立宁

[摘要]针对目前数字微流控芯片驱动电压比较高的问题,本文对比传统的驱动电极结构,研制了一种可以降低驱动电压的半月形驱动电极数字微流控芯片。首先,基于介电湿润原理,分析微液滴所受介电湿润力和微液滴接触圆上有效三...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(10):2557-2565

 基于Otsu准则和直线截距直方图的阈值分割

何志勇 孙立宁 黄伟国 陈立国

[摘要]对二维Otsu法中类间离散度测度进行了分析, 发现按该算法对被噪声污染图像的二维直方图进行划分时, 所得两类的类内均值点容易远离主对角线, 因而抗噪声能力不足。针对以上情况, 本文提出了一种新算法, 该算法基于二维...

 PDF全文光学 精密工程 | 2012, 20(10):2315-2323

 基于柔性解耦梁和显微视觉的精密同轴定位系统

陈涛 陈立国 潘明强 孙立宁

[摘要]针对偶件装配对同轴度的要求,提出了一种基于柔性解耦梁和显微视觉技术的同轴定位调整系统。为满足同轴度在线调整和轴套的位姿保持,设计了一种“田”字型两自由度柔性解耦梁机构,并结合微动平台和夹具来实现同轴度...

 PDF全文光学 精密工程 | 2011, 19(11):2685-2692

 基于旋转式反射镜的飞行视觉系统设计

陈立国 朱吉锋 刘殿冬 赵明宣

[摘要]在MEMS麦克风贴片工艺中, 真空吸嘴吸取MEMS芯片以后需要进行芯片位姿的精确校正。为实现高速高精度贴片功能, 提出了一种基于旋转式反射镜的飞行视觉系统, 该方案利用齿轮齿条将吸嘴的升降运动转化为反射镜的旋转运动...

 PDF全文光学技术 | 2010, 36(05):677-681

 显微视觉快速自动调焦方法及实验

陈立国 王明月 杨治亮 荣伟彬

[摘要]分析了显微视觉与计算机宏观视觉的特性,得出显微视觉下模糊效果是由几何光学和波动光学两部分造成的结论,并用标定实验验证了显微视觉下扩散参数与物距呈线性关系这一假设。研究了现有基于聚焦的自动调焦DFD (Depth...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(06):1361-1366

 复合式MEMS微夹持器的研制

陈立国 刘柏旭

[摘要]为实现对亚毫米微小构件稳定夹取及可靠释放等操作,研制了一种复合式微夹持器。采用有限元软件分析了微夹持器的机构及动力特性。应用MEMS体硅工艺将静电梳齿驱动与气动吸放集成构成复合式驱动,气动吸放的引入改善了微...

 PDF全文光学 精密工程 | 2009, 17(08):1928-1934

 集成式6自由度微动并联机器人系统

王振华 陈立国 孙立宁

[摘要]基于机构、驱动、检测一体化的思想,研制出了压电陶瓷驱动的6自由度集成式并联微动机器人,对该机器人的机构、驱动、检测、控制及误差补偿方法进行了研究.采用6自由度(6-SPS)并联结构设计了微动并联机器人的构型,对结构...

 PDF全文光学 精密工程 | 2007, 15(09):1391-1397

 挠性陀螺十字铰链模型的建立与分析

荣伟彬 陈涛 陈立国 孙立宁

[摘要]在对动力调谐陀螺刚度和漂移误差分析的基础上,建立了由内外挠性接头装配后铰链所形成的十字型铰链的模型,并利用伪刚度体理论对该模型进行了分析。得出了内外挠性接头两铰链的相对位置关系对十字型铰链模型的影响曲线...

 PDF全文光学 精密工程 | 2006, 14(05):864-869

 生物显微切割微操作仪的设计与研制

王会香 陈立国 孙立宁 刘亚欣

[摘要]设计了一种能够自动、快速、精确地分离和提取指定细胞群或单个细胞的微操作机器人系统,研制了基于功率超声振动原理的微切割工具(其切割频率在15~50 kHz,振动幅值在0~1μm可调)和真空吸附式微拾取工具(压力可在0~0...

 PDF全文光学 精密工程 | 2006, 14(03):416-421

 显微视觉结合光功率检测的光纤耦合方法

陈立国 荣伟彬 孙立宁 贾延奎

[摘要]分析了光功率损耗的理论模型,指出横向偏移、光纤角度和端面间隙是影响对接损耗的主要参数,由此提出了显微视觉结合光功率检测的光纤耦合方法.在显微视觉系统引导下,采用精密并联机器人消除光纤角度及端面间隙的影响,并...

 PDF全文光电工程 | 2005, 32(04):42-44

 微操作机器人的显微视觉自标定方法

谢晖 孙立宁 荣伟彬 陈立国

[摘要]在分析微操作机器人结构特点的基础上确定了待标定参数,提出了一种基于显微视觉的自标定方法.通过动态跟踪随机器人运动的目标来计算其图像坐标,采用最小二乘法拟合目标运动轨迹在显微镜坐标平面中的投影直线,并结合高...

 PDF全文光电工程 | 2005, 32(03):32-35

 超声振动显微切割工具的设计与研制

刘亚欣 陈立国 孙立宁 王会香

[摘要]将超声振动切割引入生物显微操作领域,提出压电超声振动微切割理论.基于此理论,为满足实际操作中不同显微切割样本对不同切割能量即不同振动频率和振动幅值调整的需求,利用叠堆压电陶瓷作为超声发生装置,研制了面向生物...

 PDF全文光学 精密工程 | 2005, 13(z1):127-133

 微操作机器人显微视觉系统若干问题

孙立宁 陈立国 刘品宽 荣伟斌

[摘要]显微视觉系统是微操作机器人不可缺少的组成部分.近年来,随着显微技术的不断成熟,显微视觉系统的研究已经成为国内外在微操作领域的研究热点.本文着重介绍了微操作机器人显微视觉系统的研究意义,总结了现阶段国内外的研...

 PDF全文光学 精密工程 | 2002, 10(02):171-175

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