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 基于增量光栅尺的纵横转换图像细分算法实现

蔡铁根 杨志军 陈超然 刘杏明 李彦锋

[摘要]针对现有光栅测量方法不能兼顾高速与高精度的问题, 为适应电子制造装备高速运动和高精密定位的位移反馈要求, 提出基于增量式光栅尺的纵横转换细分测量原理和相应的图像快速处理算法。为了提高光栅图像采集处理速度, ...

 PDF全文应用光学 | 2017, 38(01):56

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