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 水射流辅助激光加工碳化硅的影响研究

陈雪辉 李翔 吴超 张遥

[摘要]为了研究具有一定速度和角度的水射流在水射流辅助激光加工碳化硅材料中对加工槽体深度、宽度、热影响区的影响, 利用Fluent软件, 分别以不同速度和不同入射角度的水射流对材料表面冲击力大小的影响进行模拟, 从理论上...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(01):011405

 氮化硅陶瓷水射流辅助激光精密加工

姚燕生 陈庆波 汪 俊 陈雪辉 袁根福

[摘要]为解决工程陶瓷在激光加工中的表面质量问题提出了溶液辅助激光加工方法, 首先在综合国内外有关研究的基础上, 分析了激光穿越水层的能量传输、激光作用水下固体物质的热传导和静水及水射流辅助激光加工的作用机理; 搭...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(11):2723

 水环境下激光超声复合加工实验研究

姚燕生 王园园 李修宇 陈雪辉 袁根福

[摘要]提出并研究了水环境下激光超声复合加工方法, 利用该方法对氮化硅陶瓷进行刻蚀加工, 加工时对试样施以高频振动。通过实验对比分析激光能量、脉冲宽度、重复频率和超声振动功率等工艺参数对Si3N4在超声振动辅助与无振动...

 PDF全文应用激光 | 2015, 35(02):224

 低压射流激光烧蚀复合加工能量损失率的研究

张程 陈雪辉 袁根福

[摘要]利用低压水射流辅助激光加工的方法对多晶硅进行试验加工,测量了无水情况下以及不同射流速率下的盲孔体积,对比研究了不同射流速率下能量损失率的变化规律,并分析了变化的原因。研究表明,射流速率对激光烧蚀的能量损失...

 PDF全文应用激光 | 2014, 34(06):589

 水射流对于激光刻蚀晶体硅影响的试验研究

张崇天 袁根福 陈雪辉 张程 王海云

[摘要]对比研究硅晶体激光直接刻蚀与水射流辅助激光复合刻蚀表面形貌,发现水射流与激光复合刻蚀能够有效去除重铸层并减少裂纹缺陷。研究了水射流流量对刻蚀微观形貌及刻槽深度的影响,结果表明,适当提高水射流的流速有利于改...

 PDF全文应用激光 | 2014, 34(06):557

 激光和化学复合刻蚀加工表面质量的实验研究

袁根福 姚燕生 陈雪辉 梁华琪 朱绍峰

[摘要]利用激光烧蚀与化学腐蚀复合加工方法对试样进行实验加工,来研究激光脉冲能量、脉冲宽度、重复频率和激光束扫描速度等参数对金属试样加工表面形貌的影响规律和机理,并研究了腐蚀介质种类和其浓度对加工表面质量的影响...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(01):281-283

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