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 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差

张敏 高松涛 苗二龙 隋永新 杨怀江

[摘要]为了去除拼接干涉检测中支撑对面形检测的影响,提出了利用最大似然估计法计算支撑造成的面形误差的方法。首先,保持支撑工装不动,旋转待测镜检测各子孔径面形;然后,用最大似然估计法计算出支撑造成的面形误差;最...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(04):041204

 基于位相分布限制衍射光学元件的散斑抑制方法

梁传样 张巍 芮大为 隋永新 杨怀江

[摘要]根据散斑产生的机理, 利用像素点之间干涉的概念, 提出了通过限制光场的位相分布范围来抑制投影图像中散斑对比度的方法.在部分发展散斑的条件下, 推导了位相均匀分布情况下的散斑对比度公式, 揭示了当相位分布范围在0...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(01):0105002

 数字微镜器件热设计计算与试验验证

王 飞 周连生 方 斌 田 伟 张 巍 隋永新

[摘要]为保证数字微镜器件(DMD)的温度水平满足要求,采用计算和试验相结合的方法,对DMD 热设计进行了研究。通过设计强迫液体冷却的散热方案,计算DMD 各个测温点的温升,得出反射红、绿、蓝光的DMD 最大温升分别为14.4 ℃...

 PDF全文光电工程 | 2016, 43(09):84

 日盲紫外像增强器绝对光谱响应测试系统

陈雪 李宗轩 闫丰 章明朝 周跃 隋永新

[摘要]为评估日盲紫外像增强器的带内响应能力及带外截止能力, 基于标准替代法, 设计并实现了宽光谱大动态范围的日盲紫外像增强器绝对光谱响应测试系统。系统选择宽波段、高亮度、高稳定性的激光泵浦白光光源作为基本光源, ...

 PDF全文光电工程 | 2016, 43(05):8

 基于硅基液晶实现激光投影显示系统匀光整形和散斑抑制

梁传样 张巍 芮大为 隋永新 杨怀江

[摘要]激光投影显示通常需要解决光束整形匀化和散斑抑制的问题。基于此,提出利用硅基液晶(LCoS)空间光调制器(SLM)同时解决上述问题的方法。利用衍射光学元件(DOE)精细化设计思想设计所需整形DOE的相位分布,可以同时...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(12):1201001

 基于重力补偿的立式三平板绝对检测

苏东奇 田伟 苗二龙 隋永新 杨怀江

[摘要]为了实现高精度平面面形绝对检测,对传统的立式三平板绝对检测方法进行了重力变形补偿.通过有限元软件仿真了平板在水平放置于工装上的重力变形,并将其加入到平面绝对标定的计算中.把平面标定分成旋转对称项和旋转非对...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(11):1112003

 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前

苏东奇 苗二龙 曲艺 隋永新

[摘要]由于非共光路误差是菲索干涉仪进行高精度检测中最重要的误差因素之一,而非共光路误差是由于非理想的光学系统即干涉仪的出射波前不理想造成的,所以为了测量干涉仪的出射波前来评估干涉仪非共光路误差的大小,提出一...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(12):1208002

 基于DM8148的双谱段电晕检测系统设计

田时舜 庞飞龙 周跃 章明朝 闫丰 隋永新

[摘要]针对高压输电线路电晕检测及定位问题,设计了基于DM8148的双谱段视频融合电晕检测系统,实现了双路视频的采集、处理、融合、压缩和存储.采用时域递归滤波算法对日盲紫外图像进行去噪处理,利用基于小波变换自适应加权融...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(03):513

 基于FPGA的实时视频采集预处理系统设计

马超 章明朝 李佩玥 隋永新

[摘要]采用Verilog语言设计了一套基于RGB格式的视频采集预处理系统,先将采集到的RGB信号转换成易于处理的YCbCr信号,然后进行相应的处理,最后再转为RGB信号输出显示.系统包含视频采集模块、视频显示模块、IIC控制模块和视频...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(03):518

 高精度Camera Link相机视频采集处理系统的设计

庞飞龙 章明朝 周跃 闫丰 隋永新 黄玮

[摘要]在电晕探测系统中, 为满足高精度Camera Link接口相机的高实时视频采集、处理需要, 同时降低系统成本及复杂度, 提出了一种通过DM642的视频端口扩展Camera Link接口的方法。与一般采用FPGA作为处理前端不同, 该方法基于...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(02):314

 基于DM8148的双谱段电晕检测系统设计

田时舜 庞飞龙 周跃 章明朝 闫丰 隋永新

[摘要]针对高压输电线路电晕检测及定位问题,设计了基于DM8148的双谱段视频融合电晕检测系统,实现了双路视频的采集、处理、融合、压缩和存储.采用时域递归滤波算法对日盲紫外图像进行去噪处理,利用基于小波变换自适应加权融...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 35(03):513

 基于FPGA的实时视频采集预处理系统设计

马超 章明朝 李佩玥 隋永新

[摘要]采用Verilog语言设计了一套基于RGB格式的视频采集预处理系统,先将采集到的RGB信号转换成易于处理的YCbCr信号,然后进行相应的处理,最后再转为RGB信号输出显示.系统包含视频采集模块、视频显示模块、IIC控制模块和视频...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 35(03):518

 利用泽尼克位相型光瞳滤波器实现景深延拓及超分辨

刘江 苗二龙 王学亮 隋永新 杨怀江

[摘要]为了对显微光学系统实现景深延拓和超分辨,设计了一种基于泽尼克多项式的位相型光瞳滤波器,并分析了其对光学系统在焦点附近光强分布的改善。结果表明,与传统显微光学系统相比,加入泽尼克位相型光瞳滤波器后,系统...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(12):1211002

 气囊抛光过程的运动精度控制

王飞 张健 彭利荣 王高文 隋永新

[摘要]针对用于球面、非球面光学元件超精密光学加工的气囊抛光技术, 提出了一套控制抛光过程中气囊运动精度的方法。该方法通过控制加工单元的温度, 保证抛光过程中设备运动精度达到50 μm; 使用坐标传递法, 使检测数据二维...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(08):2220

 用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法

张敏 隋永新 杨怀江

[摘要]针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差,提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法。介绍了该算法原理,从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度。结合MetroPro和Matlab...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(04):934

 提取标记点中心在子孔径拼接检测中的应用

张敏 隋永新 杨怀江

[摘要]子孔径拼接干涉仪中子孔径定位精度难以在大行程范围内得到保证,为此本文提出了基于提取标记点中心定位子孔径的拼接方法。以标记点的中心坐标为标记点坐标,根据标记点在两子孔径局部坐标系下的坐标计算两子孔径之间...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(05):830

 基于迭代方法的补偿器系统设计

李乐 高松涛 隋永新 杨怀江

[摘要]针对F 数为4 的高次非球面,设计了一套基于平行光束照射的高精度补偿器。系统工作波长为632.8 nm,设计残差为0.0018 λ 。提出了求解两片检测透镜组成补偿器初始结构的新方法。该方法合理假设补偿器部分结构参数,通...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(07):072203

 高精度曲率半径测量研究

彭石军 苗二龙 史振广 陈华 隋永新 杨怀江

[摘要]由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(01):011201

 基于有限元法的面形反演模型

刘永明 谢军 田伟 隋永新 刘震宇

[摘要]为利用有限元法和面形检测结果反演出光学元件的面形, 对面形检测结果进行分解, 并对旋转平均法面形检测原理进行分析, 讨论采用忽略光学元件自身面形的理想几何模型对其旋转非对称项面形误差进行有限元计算的理论可行...

 PDF全文光子学报 | 2014, 43(08):0812001

 基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测

张艳微 苏东奇 隋永新 杨怀江

[摘要]旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术。旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转测量,称为N+1次旋转法。通过附加的一次旋转测量,采用泽尼克多项式拟合求解旋转平均法...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(07):0708007

 光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究

陈华 苏东奇 隋永新 章明朝 田伟 杨怀江 张巍

[摘要]非均匀照明导致的热像差是光刻机投影物镜工作过程中成像性能劣化的主要因素,对其补偿是必要的。针对物镜热像差的补偿问题,提出了分区式加热补偿镜的方案,利用玻璃材料折射率随温度变化的特点,采用电薄膜加热器在...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0811001

 应用离子束修正大面形误差光学元件

马占龙 隋永新

[摘要]为了获得超高精度面形的光学元件并验证离子束的修正能力,对应用离子束修正大面形误差光学元件的问题进行了实验研究。通过改变离子源光阑尺寸的方式获得了不同束径的离子束去除函数,并对一直径为101 mm、初始面形...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(01):0122001

 基于光强自标定移相算法检测光学面形

刘江 苗二龙 曲艺 隋永新 杨怀江

[摘要]考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(08):2007-2013

 压电驱动器的开闭环迭代学习控制

李朋志 闫丰 葛川 李佩玥 隋永新 杨怀江

[摘要]由于开闭环迭代学习控制方法能在加快收敛速度的情况下降低跟踪误差, 本文利用该控制方法来提高压电驱动器(PZT)的高频轨迹跟踪精度。首先, 提出了离散时间下的开环P型结合闭环PI型的迭代学习律, 并且给出了基于该学习...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(02):414-419

 菲索干涉仪中精确移相的实现

苏志德 史振广 彭吉 隋永新 杨怀江

[摘要]为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引...

 PDF全文中国光学 | 2013, 6(02):244-250

 日盲紫外像增强型CCD疲劳特性测试

孔繁林 周跃 陈雪 隋永新 杨怀江 文刚

[摘要]为评估日盲紫外(SBUV)像增强型CCD(ICCD)响应度随工作时间的变化规律,针对器件的两种典型工作模式设计了SBUV-ICCD疲劳特性测试方案,并构建装置对其进行了实验测量。首先结合SBUV-ICCD的基本结构和工作原理介绍了器件...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(11):110401

 基于两帧差分平均移相算法标定斐索型波长移相干涉仪

文刚 苏东奇 隋永新 杨怀江 孔繁林

[摘要]波长移相干涉仪的移相值与干涉腔长度有关,需要对其标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。为了标定研制的斐索型波长移相干涉仪,提出一种利用干涉图直接计算定步长移相值的新算法两帧差分平均移相算法(TDA)。对该...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(11):1108004

 基于数值模拟的高精度波长移相干涉仪随机误差分析

文刚 苏东奇 苏志德 隋永新 杨怀江

[摘要]研制波长移相干涉仪时为了选出满足干涉仪设计指标的激光器和CCD相机,采用直接计算法和蒙特卡罗法对干涉仪系统中的主要随机误差进行建模仿真。介绍了菲佐型波长移相干涉仪的基本结构和测量原理,对振动、空气扰动和激...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(10):1008003

 环形子孔径拼接检测中机械误差的分离

张敏 王立朋 隋永新 杨怀江

[摘要]为减少环形子孔径拼接干涉检测中机械误差对检测结果造成的影响, 分析环形子孔径拼接过程中机械误差作用分量的表现形式, 提出了分离机械误差的全局优化的环形子孔径拼接方法。分析根据波像差理论建立的机械误差分离数...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(05):825-830

 迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定

苏志德 隋永新 杨怀江 邵晶

[摘要]针对移相干涉仪中移相器的非线性会影响测量结果准确性的问题,提出了一种基于迭代最小二乘拟合的标定干涉仪移相器的新方法。对移相器加电压并采集若干幅干涉图后,通过在帧间和帧内迭代开展最小二乘拟合可计算出干涉...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(04):624-628

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