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 基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究

孙泽旭 冯泽斌 周翊 刘广义 韩晓泉

[摘要]光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研究...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(09):0901002

 基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究

朱成林 韩晓泉 冯泽斌 胡明庆

[摘要]针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度 控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器。在此基础上分别对两种控 制器进行仿真和实验。结果表明与常规PID控制器...

 PDF全文量子电子学报 | 2018, 35(05):533

 速率光纤陀螺寻北仪倾斜补偿算法研究

郭喜庆 魏静 王刚 刘伟 韩晓泉

[摘要]针对速率光纤陀螺寻北仪,提出了一种倾斜补偿算法.通过采用积分滑动和最小二乘拟合滤波技术,对光纤陀螺和加速度计原始测量信号进行数据处理.试验数据表明,采用本算法解决了由倾斜角存在影响其寻北准确度的关键技术问题...

 PDF全文光子学报 | 2007, 36(12):2342-2345

 模糊控制算法在光电跟踪伺服系统中的应用

韩晓泉 王建立 赵金宇 陈涛

[摘要]针对光电跟踪伺服系统提出了一种新的控制算法.该算法将模糊控制与经典滞后超前控制结合起来,在保持原有系统精度的前提下,使光电跟踪伺服系统的动态性能得到了极大的改善.仿真结果表明,采用该算法后系统的ts<0.1s,...

 PDF全文光电工程 | 2004, 31(z1):19-21

 PSD在光栏精密定位中的应用

孟令震 王建立 韩晓泉 吉桐伯 陈涛

[摘要]对光栏进行精密定位通常采用轴角编码器或圆感应同步器作为测角反馈元件.可以达到很高的测角精度,但有价格高、体积大、处理电路复杂等缺点.PSD(P0sition Sensitive Detector)敏感探测器是一种新型位置传感器,具有质量...

 PDF全文光学 精密工程 | 2004, 12(z2):52-54

 电机的驱动能力对直流伺服系统带宽的影响分析

罗毅成 郭劲 陈娟 韩晓泉 王建立

[摘要]带宽是伺服系统中最重要的指标之一,表征了系统的响应速度.电机作为功率输出装置(执行机构),它的驱动能力直接决定了系统的带宽.分析电机的驱动能力和带宽的数学关系就尤为重要.而代表电机驱动能力的就是电机的最大速度...

 PDF全文光学 精密工程 | 2004, 12(z2):58-61

 光电经纬仪高速数字视频采集和存储

黄进 郭立红 韩晓泉 李岩

[摘要]光电经纬仪作为弹道的测量设备对数字视频数据的采集和存储速度有很高的要求.目前计算机体系结构的高速数字视频采集和存储系统一般只能达到40 MB/s的存储速度,无法满足100 MB/s的实际要求.基于目前的硬件条件,提出了缓...

 PDF全文光学 精密工程 | 2004, 12(z2):68-71

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