首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '韩杰才', 共找到 7个内容。

   将选定结果: 

 溅射工艺参数对硅薄膜微结构影响的Raman分析

田桂 朱嘉琦 韩杰才 姜春竹 贾泽纯

[摘要]为了解决碳化硅难以进行光学加工的问题, 该文采用射频磁控溅射方法, 在碳化硅反射镜坯体上沉积与碳化硅具有相近热膨胀系数且易于进行光学加工的硅薄膜。 利用拉曼光谱(Raman)对衬底温度、 射频功率、 衬底偏压等溅射...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2010, 30(07):1793-1797

 通过提高生长温度改善碳化锗薄膜的性能

胡超权 王笑夷 陈红 朱嘉琦 韩杰才 郑伟涛

[摘要]利用磁控溅射制备碳化锗(Ge1-xCx)薄膜, 系统地研究了生长温度(Tg)对所获薄膜成分及性能的影响并揭示了它们之间的内在关系。研究发现所有Ge1-xCx薄膜样品均为非晶结构, 随着Tg从60 ℃增加到500 ℃, 膜中锗含量增加, 而...

 PDF全文液晶与显示 | 2010, 25(04):515-518

 X光电子谱辅助Raman光谱表征N含量对非晶金刚石薄膜的结构影响

陈旺寿 朱嘉琦 韩杰才 田桂 檀满林

[摘要]用过滤阴极真空电弧沉积系统制备掺N非晶金刚石(ta-C:N)薄膜,通过在阴极电弧区和沉积室同时通入N2气实现非晶金刚石薄膜的N原子掺杂,并通过控制N2气流速制备不同N原子含量的ta-C:N薄膜。用X射线光电子能谱(XPS)和Raman...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2009, 29(01):268-272

 脆性光学材料的超声磨削实验研究

杨鑫宏 韩杰才

[摘要]分别采用超声磨削和普通磨削加工方法加工了几种脆性光学材料,研究了几种主要工艺参数对工件加工表面粗糙度的影响。结果表明,超声频率和振幅、金刚石磨料粒度、切深、工具的横向进给速度和旋转速度等工艺参数对表面...

 PDF全文光学技术 | 2007, 33(01):0065-67

 碳化硅反射镜轻量化结构优化设计

韩媛媛 张宇民 韩杰才 张剑寒 姚旺 周玉锋

[摘要]本文根据某型号碳化硅主反射镜的设计要求,对比了扇形、三角形、六边形轻量化孔对镜体静态、动态性能的影响,选择了综合性能较好的三角形轻量化结构方案,利用有限元方法进行参数建模,将对镜体力学性能和质量影响较大的...

 PDF全文光电工程 | 2006, 33(08):123-126

 空间用碳化硅反射镜的设计制造与测试

张剑寒 张宇民 韩杰才 赫晓东 姚旺

[摘要]碳化硅由于其优异的机械性能和热物理性能而成为颇具吸引力的反射镜材料.采用反应烧结碳化硅(RB-SiC)材料制备了空间用反射镜体,用化学气相沉积(CVD)工艺在镜体镜面沉积一层致密的碳化硅薄膜,反射镜采用蜂窝状背面开放...

 PDF全文光学 精密工程 | 2006, 14(02):179-184

 非晶金刚石薄膜的X射线反射研究

韩杰才 檀满林 朱嘉琦 程坤 孟松鹤

[摘要]利用过滤阴极真空电弧系统制备了不同衬底偏压下非晶金刚石薄膜,分别采用X射线反射法测定了相应的非晶金刚石膜密度,分析了薄膜密度与沉积能量之间的变化规律,建立了薄膜密度随衬底偏压的变化曲线。研究发现在-80 V时非...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(04):572-576

首页上一页1下一页尾页