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   将选定结果: 

 气囊气缸式真空紫外纳米压印设备研制

董晓文 司卫华 顾文琪

[摘要]本文介绍了紫外纳米压印技术原理,以及工艺中模板与基片的平行度对压印质量的影响。研制了气囊气缸式真空紫外纳米压印设备,其通过气囊气缸使模板与基片平行,从而可在大面积基片上确保压力均匀。研制了相应的光学系统,...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(02):140-144

 应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计

李文萍 顾文琪

[摘要]在不同束流和能量下对离子光柱体进行了优化设计.给出了用阻尼最小二乘法设计的单个透镜和透镜系统,并研究了像平面处的离子束性能.采用先分解再组合的方法确定单个透镜参数,并以大束流、无限大放大倍数下像差系数与焦...

 PDF全文光学 精密工程 | 2007, 15(06):829-834

 纳米制造和测量技术产业化的研究

李文萍 顾文琪

[摘要]从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度,分析了纳米加工产业化面临的问题,并提出了相应的解决方案--多离子束聚焦投影技术.多离子束聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0.5~5μm的加工...

 PDF全文光电工程 | 2006, 33(12):15-18

 电子-离子双束纳米工作站

马向国 顾文琪 韩立

[摘要]现代微电子工业迅猛发展,对电子设备的精度和功能也提出了新的要求.电子-离子双束纳米工作站是扫描电子束和聚焦离子束技术的独特融合,突破了只能对表层成像和分析的局限,它可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析,...

 PDF全文光电工程 | 2004, 31(z1):70-72

 电子束曝光机的偏转系统

刘珠明 顾文琪

[摘要]电子束曝光机的偏转系统控制电子束偏转扫描.像差低、偏转灵敏度高、扫描速度快是它的基本要求.对各种偏转器、偏转方式进行分析、比较,从偏转器空间场的数值计算方法、偏转系统的优化、像差校正、偏转器制作工艺、电气...

 PDF全文光电工程 | 2004, 31(12):12-16

 一种新的散射电子空间输运坐标转换方法

任黎明 陈宝钦 谭震宇 顾文琪

[摘要]提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程.该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA(Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表...

 PDF全文光电工程 | 2002, 29(03):24-27

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