首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '高松涛', 共找到 13个内容。

   将选定结果: 

 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差

张敏 高松涛 苗二龙 隋永新 杨怀江

[摘要]为了去除拼接干涉检测中支撑对面形检测的影响,提出了利用最大似然估计法计算支撑造成的面形误差的方法。首先,保持支撑工装不动,旋转待测镜检测各子孔径面形;然后,用最大似然估计法计算出支撑造成的面形误差;最...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(04):041204

 GAO Song-tao, WU Dong-cheng, MIAO Er-long

高松涛 武东城 苗二龙

[摘要]在高数值孔径(NA)投影光刻物镜中, 随着数值孔径的增加, 非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测, 一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超过500 μm的偶次高次非球面进行了计算全...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(03):383

 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计

高松涛 武东城 于长淞

[摘要]目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影光刻物镜制造的关键因素。为了解决这一难...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(09):090901

 高精度光学平板在三点支撑下自重变形的研究

武东城 高松涛 吴志会 彭石军 曲艺 苏东奇 苗二龙

[摘要]影响高精度光学元件重要的因素之一是支撑结构。主要研究了在三点支撑下,自重变形量与口径和厚度的关系。采用数值分析、有限元法(FEM)模型与实验验证相结合的方法完成对三点支撑下自重变形量的研究。采用薄板理论推导...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(12):1212001

 用计算全息图检测非球面时的自补偿效应分析

高松涛 武东城 彭石军 苏东奇 苗二龙

[摘要]用计算全息图(CGH)检测非球面时,除了设计零位补偿CGH 外,还往往设计辅助调节CGH,从而可以利用干涉图来精确调节CGH 的位置。针对这种同时具有零位补偿和辅助调节功能的CGH,提出零位补偿CGH 和辅助调节CGH 之间具有...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(11):1112002

 基于迭代方法的补偿器系统设计

李乐 高松涛 隋永新 杨怀江

[摘要]针对F 数为4 的高次非球面,设计了一套基于平行光束照射的高精度补偿器。系统工作波长为632.8 nm,设计残差为0.0018 λ 。提出了求解两片检测透镜组成补偿器初始结构的新方法。该方法合理假设补偿器部分结构参数,通...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(07):072203

 免疫投影基准光强变化的五步移相算法在条纹投影偏折法中的应用

刘江 王飞 王高文 高松涛 杨怀江

[摘要]为了提高条纹投影偏折法对自由曲面的测量精度,通过分析投影到待测面的条纹光强变化形式,推导出一种可以免疫光强变化的五步移相算法,并通过频域傅里叶分析论述了该算法的可行性。数值实验结果表明,免疫光强变化的...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(11):1108003

 快速傅里叶变换与泽尼克模式拟合的条纹投影面形恢复算法

刘江 崔穆涵 高松涛 隋永新 杨怀江

[摘要]针对条纹投影偏折法中需要多次迭代进行面形恢复,提出一种结合快速傅里叶变换(FFT)算法与泽尼克(Zernike)模式拟合的算法(FFT-泽尼克)。数值仿真结果表明,直接使用泽尼克模式拟合,需要迭代15次,用时1 min以上...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(04):614-618

 用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估

高松涛 隋永新 杨怀江

[摘要]计算全息图(CGH)作为零位补偿器,越来越广泛地应用于高精度非球面检测领域。CGH的设计、编码、加工和装调等误差,直接限制了非球面的检测精度。提出一种切实可行的检测非球面的流程与方法,完成了对CGH基底的标定、...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(06):0612003

 用计算全息图校正非球面的畸变

高松涛 王高文 张健 隋永新 杨怀江

[摘要]针对用计算全息图(CGH)对非球面进行检测时出现的非对称畸变, 分析了3种基本的畸变模型, 提出了一种有效的校正非对称畸变的方法。该方法采用较少的拟合参数即可实现对非对称畸变的精确校正, 从而可以较大程度地减少畸...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(08):1929-1935

 超大动态范围日盲紫外辐照度光源

周跃 闫丰 章明朝 高松涛

[摘要]为实现对动态范围达120 dB的日盲紫外增强型电荷耦合器件(SBUV-ICCD)的辐照度定标, 设计并实现了超大动态范围日盲紫外辐照度光源。 首先估算出SBUV-ICCD的辐照度定标所需的动态范围, 其次采用氘灯、 积分球、 高精度...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2012, 32(06):1451-1455

 计算全息法标定抛物面精度分析

谷勇强 苗二龙 高松涛 隋永新 杨怀江

[摘要]非球面高精度检测是目前光学检测研究的热点和难点之一。计算全息(CGH)技术是非球面检测的重要方法,但检测精度受到许多因素的影响。对CGH检测抛物面的误差进行了深入研究。应用Zemax软件对各种检测误差进行模拟计算,...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(12):1208005

 “日盲”紫外电晕探测系统定标

章明朝 宋慧营 周跃 高松涛 闫丰 隋永新 杨怀江 闫丰 隋永新 杨怀江

[摘要]“日盲”紫外电晕探测是电力设备检修与维护的主要手段之一。为了提供更为准确和客观的评价依据,需要对“日盲”紫外电晕探测系统进行辐亮度定标,从而确定目标辐亮度与增益控制电压、系统输出灰度值之间的关系。为此构...

 PDF全文光电工程 | 2010, 37(04):135-140

首页上一页1下一页尾页