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   将选定结果: 

 多维栅格标准样板的制备与表征

雷李华 蔡潇雨 魏佳斯 孟凡娇 傅云霞 张馨尹 李 源

[摘要]栅格标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分, 是纳米科技发展的基础保障。为了实现微纳米尺寸栅格结构有效区域的快速循迹与校准, 文中设计了一种便于快速定位有效区域并栅格结构正交扫描方向的循迹结...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(05):0503006

 基于改进三点测量法的圆径测量研究

钟亦林 吴恩启 蔡潇雨 魏佳斯 雷李华

[摘要]三点测量圆度误差分离技术被广泛应用于工件形状的圆度误差和电机旋转的回转误差的分离算法中。而圆度误差能得以准确分离的关键在于合理配置三个位移传感器测头的安装角度, 从而避免传递函数的分母为零的情况出现。然...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(05):0517008

 基于最小二乘法的自校准位姿方案

乔潇悦 陈欣 丁国清 蔡潇雨 魏佳斯 李源

[摘要]基于辅助测量装置中栅格板的不同位姿,构建了有关工作台误差和栅格板误差的数学模型。根据最小二乘原理将误差方程转化为正规方程。通过研究位姿方案对关系矩阵的秩的影响,归纳总结了位姿与自校准模型之间的规律。依...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(12):1212001

 基于变速扫描技术的大尺寸台阶测量

雷李华 李 源 蔡潇雨 魏佳斯 傅云霞 邵 力

[摘要]为了提高大尺寸台阶结构的单边测量精度、缩短测量时间, 基于变速扫描技术, 并利用傅里叶变换提取法及单边台阶评价算法进行扫描干涉信号的处理, 提出并搭建了具有变速扫描功能的白光干涉测量系统。并且利用该系统对标...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(07):0717003

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