首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '鲁森', 共找到 5个内容。

   将选定结果: 

 干涉条纹相位锁定系统分析及其控制

鲁森 杨开明 朱煜 张鸣 王磊杰 胡楚雄

[摘要]干涉条纹的相位变化与干涉条纹中某一固定点的光强密切相关, 基于这一原理, 通过对干涉场光强分析, 提出并设计了一种用于干涉条纹相位锁定的控制系统.光电探测器检测干涉条纹中固定目标点的光强, 并以该光强电压作为反...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(01):0123001

 用于扫描干涉场曝光的超精密微动台设计与控制

鲁 森 杨开明 朱 煜 王磊杰 张 鸣 杨 进

[摘要]扫描干涉场曝光(SBIL)系统中曝光效果与工件台的运动性能密切相关。为了制作纳米精度的大面积平面光栅, 工件台采用了粗微叠层结构设计, 其中微动台是实现工件台运动精度的关键。基于SBIL原理, 推导了干涉条纹周期测...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1012006

 零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制

王磊杰 张 鸣 鲁 森 朱 煜 杨开明

[摘要]利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时, 常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先, 介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(05):1213

 超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统

王磊杰 张 鸣 朱 煜 鲁 森 杨开明

[摘要]开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(12):2975

 干涉条纹相位锁定系统

鲁 森 杨开明 朱 煜 王磊杰 张 鸣

[摘要]干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低, 为了有效抑制相位漂移, 利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点, 指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(01):1

首页上一页1下一页尾页