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 241单元变形镜结构参数设计及性能仿真

刘李辉 谭碧涛 麦灿基

[摘要]利用多物理场软件COMSOL,建立241单元变形镜模型,计算得到变形镜驱动器影响函数数据。利用基于子孔径斜率法的241单元自适应光学系统光学像差校正程序,以3~60项泽尼克多项式拟合残差的均方根值为目标,分析了变形镜...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(09):090101

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