首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '黄惠杰', 共找到 63个内容。

   将选定结果: 

 渗透性纸张上潜在指印检测技术研究

赵成 黄立华 凌丽青 郭凯 屈建峰 张善华 李红霞 庄锡峰 黄惠杰

[摘要]潜在指印的检测是物证检测中关键的一步。针对多种渗透性纸张上遗留的潜在指印, 基于潜在指印残留物中有机物成分在紫外光激发下会产生荧光的特性, 采用266 nm紫外激光器作为激发光源, 通过二维激光扫描系统对潜在指印...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(07):0704003

 光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究

程伟林 张方 林栋梁 曾爱军 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排布方式来提高校正能力和精度。仿真结果表明:当校正手指错开排布时,手指阵列式均匀性...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0722001

 低相干光干涉高精度透镜中心厚度的测量方法

金超群 杨宝喜 胡小邦 张方 马健 黄惠杰

[摘要]阐述了一种基于低相干光干涉技术的透镜中心厚度的测量方法, 并设计了腔式测量结构对未知折射率的材料进行中心厚度测量。测量系统为包括低相干测量和激光测距的全光纤结构。低相干测量结构参考臂和激光测距结构参考臂...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(06):0604002

 光谱信号乘性加性混合随机噪声去除方法

陈正伟 张 方 周 扬 黄惠杰

[摘要]提出一种光谱信号噪声的乘性加性混合分析模型,并采用维纳滤波和同态滤波相结合的算法对光谱信号进行去噪处理。仿真结果表明,该算法比移动平均算法、最小均方算法和递归最小均方算法具有更好的去噪性能。实验结果表...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(07):0730001

 高精度深紫外光学透射率测量装置的研制

陈明 谢承科 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]为了精确控制曝光剂量,需要精确测量光刻系统的光学透射率。采用了双光路对比的方法进行透射率测量,有效地消除了准分子激光器能量波动带来的透射率测量误差。并通过加入起偏器,消除了准分子激光器偏振态不稳定带来...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(03):0308002

 一种混合迭代算法在大离焦距离TIE相位恢复中的应用

郭怡明 张方 宋强 朱菁 司徒国海 袁乔 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]研究了一种基于强度传输方程(TIE)和角谱迭代传播算法的混合迭代算法。通过仿真和实验,对比了TIE算法与混合迭代算法在不同离焦距离下的相位恢复效果。结果表明,与TIE算法相比,混合迭代算法提升了大离焦距离下的相...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(09):0912001

 基于低相干干涉技术的大量程高精度镜面间距测量

师中华 杨宝喜 胡小邦 金超群 魏张帆 李璟 黄惠杰

[摘要]描述了利用低相干干涉技术实现光学镜面间距测量的方法。首先,采用微机电系统(MEMS)光开关多通道延迟结构实现测量范围的多倍增,然后通过共光路激光测距结构实现扫描反射镜的位移测量,再利用包络提取算法对低相干干...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(06):0612001

 光学镜面间距测量技术研究进展

师中华 杨宝喜 魏张帆 李璟 黄惠杰

[摘要]透镜作为光学系统中最基本的光学元件,其中心厚度的加工误差和装配精度将直接关系到整个光学系统的成像质量.对镜面间距非接触测量技术进行了研究,重点介绍了图像法、轴向色散法、差动共焦法、低相干光干涉法等方法的测...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(04):040004

 扫描干涉场曝光中关键技术的现状与发展趋势

程伟林 朱菁 张运波 曾爱军 黄惠杰

[摘要]扫描干涉场曝光(SBIL)在制作大尺寸、纳米精度的衍射光栅中有着独特的优势。为了充分了解SBIL 系统的技术特点,介绍了国内外SBIL 技术的发展现状,并针对SBIL 系统中的各个关键技术进行技术性的调研与总结,着重分析了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(10):100001

 光刻机照明光瞳测量用傅里叶变换物镜光学设计

蔡燕民 王向朝 步扬 黄惠杰

[摘要]浸液光刻投影物镜的数值孔径目前已经达到1.35,这对与之匹配的照明系统光瞳测量提出了十分苛刻的需求,为此设计了一种用于照明光瞳测量的傅里叶变换物镜。分析了傅里叶变换物镜应该满足的畸变要求,并针对照明光瞳测...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(04):0416001

 基于光散射的实时气溶胶粒子形状识别技术研究

卜一川 赵永凯 陈正岩 张佩 黄惠杰

[摘要]利用米氏散射理论和时域有限差分(FDTD)软件计算了不同大小、形状和折射率粒子的前向散射光场分布,分析了通过光强度分布和非对称因子反演粒子相关信息、区分粒形的可行性。研制了一台利用增强型CCD 相机在线采集单个...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(04):0413003

 基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法研究

胡仕玉 曾爱军 谷利元 黄惠杰 胡国行 贺洪波

[摘要]提出了一种基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法,在椭偏成像光路中采用p偏振光在金属薄膜与空气界面产生表面等离子体共振效应,利用不产生表面等离子体共振效应的s偏振光消除背景光的影响...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(11):1108001

 准分子激光脉冲能量探测器的设计与性能测试

谢承科 陈明 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]在以准分子激光为光源的步进扫描投影光刻机中,为了精确控制曝光剂量,需要用能量探测器实时、精确地监测单个激光脉冲的能量。研制了一种主要由聚光镜、积分棒、特殊晶体、滤光片、光电探测器和信号处理电路组成的准...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(01):0102006

 轻量化头戴显示器光学系统设计

吕向博 王振 魏张帆 李璟 杨宝喜 乔亚 路远 李登高 朱菁 黄惠杰

[摘要]虚拟现实头戴显示器(HMD)的光学系统应具有较大的视场角和出瞳,同时应具有重量轻和厚度薄的特性,从而适应人体的佩戴需要。为了同时满足这些要求,详细描述了一种基于初级像差理论的头戴显示器光学系统设计方法。根据...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(10):1022007

 基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计

宋强 朱菁 王健 张方 吕向博 杨宝喜 黄惠杰

[摘要]深紫外(DUV)光刻机照明系统普遍采用衍射光学元件(DOE)实现光瞳整形。根据光刻机的指标要求,衍射光学元件应具有高衍射效率和高均匀性的特点。传统的相位恢复算法如Gerchberg-Saxton (GS)及其改进算法,一般只能通过降...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(01):0122005

 用于ArF光刻机偏振照明系统的沃拉斯顿棱镜的设计

蔡燕民 王向朝 黄惠杰

[摘要]ArF光刻机偏振照明系统中需要采用偏振器件(沃拉斯顿棱镜),根据传统技术选用在193 nm波长透明材料设计沃拉斯顿棱镜,其分束角较小,或者分束角大时棱镜较长。为了解决这些实际问题,利用折射定律分析推导了由正晶体...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(06):0616002

 大口径凸非球面面形检测方法研究

宋强 杨宝喜 袁乔 李璟 朱菁 黄惠杰

[摘要]提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难度,节约了加工成本。设计并研制了大口径凸...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(04):0408003

 共轭距可变的光刻投影物镜光学设计

蔡燕民 王向朝 黄惠杰

[摘要]一种用于印刷电路板(PCB)的激光直接成像(LDI)光刻设备,需要加工高密度互连(HDI)基板的厚度变化范围为0.025~3 mm,为此设计了一种共轭距可变的光刻投影物镜。采用双远心光路结构,通过压缩物方和像方远心度误差的...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(04):0416003

 可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪

刘蕾 曾爱军 朱玲琳 黄惠杰

[摘要]提出了一种可用于小口径光束波面检测的横向剪切干涉仪。该干涉仪由偏振分光棱镜、光轴与其表面平行的晶体平板、1/4波片、反射镜及CCD构成。被测光束由偏振分光棱镜进行透射起偏和反射检偏,利用反射镜的反射两次经过...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(01):0108003

 亚微米粒子虚拟冲击器的研制

张佩 赵永凯 杨巍 黄惠杰

[摘要]亚微米虚拟冲击器是实现高灵敏度生物气溶胶光学在线监测的前提,是当前的研究热点之一。基于空气动力学理论与相关研究基础,设计了一种切割粒径为0.4 μm的亚微米级粒子虚拟冲击器,利用计算流体动力学(CFD)分析软件...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(01):0116002

 光刻机光瞳整形衍射光学元件远场多参数检测方法

胡中华 朱菁 杨宝喜 彭雪峰 曾爱军 黄惠杰

[摘要]光刻机光瞳整形普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对其光学特性的检测需求,提出了一种光刻机光瞳整形DOE远场多参数检测方法。该方法通过对远场光强分布进行转换,可同时获得DOE远场衍射图样的极平衡性...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(09):0908001

 一种高性能金标条阅读仪的研制

陈贝特 黄立华 郭凯 黄惠杰

[摘要]为使金标免疫层析技术能对目标被检物进行高灵敏度快速定量检测,研制了一种基于CMOS图像传感器的金标条阅读仪。根据纳米金颗粒对绿光的强烈吸收特性,使用绿光LED为照明光源;依据空白金标试纸条图像的灰度分布调节LE...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(07):0704001

 用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计

胡中华 宝喜 朱菁 肖艳芬 曾爱军 黄惠杰

[摘要]投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点,提出了一种混合分区设计方法,并利用该方法对产生传统照明模式、二极照明模式和四极照明模式的DOE进行了...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(06):0616001

 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计

肖艳芬 朱菁 杨宝喜 胡中华 曾爱军 黄惠杰

[摘要]均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件,能够在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺,设计出二维方向分开的柱面微透...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(02):0216001

 基于本征荧光测量的双通道生物气溶胶检测技术研究

徐傲 熊超 张佩 廖小情 杨巍 赵永凯 黄惠杰

[摘要]近年来,大气生物气溶胶的实时监测技术已经成为研究领域的热点。在已有技术的基础上,研发出了含有280 nm和365 nm两种激发光波长的双通道生物气溶胶检测系统。利用该检测系统,分别测量了色氨酸、烟酰胺腺嘌呤二核苷...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(08):0812005

 星敏感器光学系统的研制与性能测试

李璟 杨宝喜 胡中华 肖艳芬 黄惠杰

[摘要]针对星敏感器系统探测要求,设计了像方远心光路的双高斯光学系统。该系统在满足弥散斑和能量集中度等要求的情况下,具有相对孔径大、畸变小、色差小以及星点位置对离焦不敏感等特点。利用调制传递函数仪测量了星敏感...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(05):0522005

 光刻机照明系统中光束稳定技术研究

鲍建飞 黄立华 曾爱军 任冰强 杨宝喜 彭雪峰 胡小邦 黄惠杰

[摘要]光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(09):0908004

 基于色氨酸本征荧光测量的生物气溶胶检测技术研究

蔡舒窈 张佩 朱玲琳 谢承科 孙征宇 程伟林 赵永凯 黄惠杰

[摘要]生物气溶胶与环境质量和人类健康密切相关。基于光学测量的气溶胶检测技术具有快速、无损和灵敏的优点,是目前的研究主流。而对检测系统的标定技术及其评价方法尚无国家标准可依。基于本征荧光测量技术,研制完成了一...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(05):0512009

 基于散射光空间分布的生物气溶胶颗粒尺寸和形状测量的理论研究

冯春霞 黄立华 王剑波 赵永凯 黄惠杰

[摘要]基于T矩阵理论,提出一种生物气溶胶颗粒尺寸和形状的测量方法。通过对单个生物气溶胶颗粒空间光散射图形分布的分析,可同时获得其尺寸和形状信息。粒径的大小可由散射光强度确定,而颗粒的形状可通过对非对称因子Af的...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(09):092901

 高分辨率投影光刻机光瞳整形技术

胡中华 杨宝喜 朱菁 肖艳芬 曾爱军 黄立华 赵永凯 黄惠杰

[摘要]在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2011, 48(11):111101

首页上一页123下一页尾页