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   将选定结果: 

 基底晶态对HfO2薄膜晶向结构和力学特性的影响

郭佳露 刘晓凤 赵元安 邵建达 赵娇玲 黄昊鹏 崔岩岩

[摘要]用电子束蒸发技术在晶体及激光陶瓷两种基底上沉积了氧化铪(HfO2)单层膜,采用掠角X射线衍射(GIXRD)技术和纳米划痕仪对薄膜的晶向结构和力学特性进行了研究。实验结果表明,HfO2薄膜在单晶晶体和多晶陶瓷基底上均...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(06):0603001

 退火对金属介质多层膜的界面扩散及抗化学清洗性能的影响

张洪 晋云霞 孔钒宇 黄昊鹏 崔云 胡国行 李响潭 葛雯娜 叶邦角

[摘要]对金属介质多层膜样品进行不同温度的退火处理。实验发现,当退火温度为350 ℃时,在样品Au层与SiO2层的界面处出现过渡层,样品具有很强的抗化学清洗能力。利用透射电子显微镜观测与能谱仪分析发现,过渡层的出现主要是...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(10):1003002

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