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 极紫外、X射线和中子薄膜光学元件与系统

王占山 黄秋实 张众 伊圣振 李文斌 沈正祥 齐润泽 余俊

[摘要]极紫外、X射线和中子光学为现代科学的发展提供了高精度的观测手段,但这些手段的实现需要大量高性能薄膜光学元件和系统的支撑。由于短波长和材料光学常数的限制,短波光学元件的结构、性能和制作技术明显区别于长波光学...

 PDF全文光学学报 | 2021, 41(01):0131001

 光纤在电力智能集抄系统中的高端应用研究

袁健 郝昌平 王建江 黄秋实 陈伟

[摘要]RS485通讯、低压电力载波通信、短距离无线通讯技术作为现有的三种主流抄表技术,因其自身技术缺陷,已无法满足电力系统高度可靠的要求。而塑料光纤作为新一代电力传输介质,对于智能集抄系统及窄带物联网(NB-IoT)具有重...

 PDF全文光学与光电技术 | 2018, 16(02):92

 反应溅射气体对Ni、Ti薄膜成膜特性的作用机制

连玉红 张众 黄秋实

[摘要]反应溅射是降低薄膜表面和界面粗糙度的有效手段。为了研究反应溅射过程中氮气(N2)含量对所制备的Ni、Ti单层膜成膜特性的作用机制,利用掺氮气的反应直流磁控溅射方法制备了Ni和Ti的单层膜样品。首先,采用X射线光电子能...

 PDF全文光学仪器 | 2017, 39(01):56

 eXTP望远镜用W/Si多层膜

齐润泽 黄秋实 杨洋 张众 王占山

[摘要]针对增强型X射线时变与偏振探测卫星(eXTP)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求,在掠入射角为0.5°,工作波段为1~30 keV条件下,设计了非周期W/Si多层膜并优化了薄膜制备工艺。首先,利用分...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(11):2796

 NiC/Ti中子多层膜的微结构和界面研究

张众 靳鑫 李文斌 黄秋实 王占山

[摘要]NiC/Ti中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件,是提升中子导管、聚焦装置等中子光学系统的中子利用率的关键之一。为了提升NiC/Ti中子超镜的性能,本文面向具有不同厚度NiC膜层的NiC/Ti多层膜,分别采用X射线掠入...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(11):2859

 13 nm窄带Si/Mo/C多层膜反射镜

易强 黄秋实 王香梅 杨洋 张众 王占山 徐荣昆 彭太平 周洪军 霍同林

[摘要]基于多层膜准单色覆盖50~1500 eV能谱的多能点发射光谱测量系统可获得“聚龙一号”装置Z-pinch等离子体X射线源的能谱结构和总能量等信息。考虑装置的条件,在13 nm处的多层膜需要工作在掠入射角60°。常规的Mo/Si多...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(12):122002

 组合光纤中受激拉曼散射和四波混频研究

谭勇 黄秋实 宋雪迪 蔡红星 孙秀平 吕彦飞 张喜和

[摘要]在抽运光和耦合条件不变的情况下, 研究了熔接组合的非零色散位移单模光纤(NZDSF)和标准单模光纤(SMF)中的受激拉曼散射(SRS)和四波混频(FWM)产生和传输特征。 采用532 nm脉冲激光抽运NZDSF, 从20 m处开始产生以LP01模...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2013, 33(06):1451-1455

 硬X射线超反射镜的环氧复制技术研究

王芳芳 李文斌 黄秋实 朱京涛 穆宝忠 王占山

[摘要]本文系统地研究了W/Si超反射镜的直接环氧树脂复制过程。首先采用直流磁控溅射镀膜方法制备了W/Si超反射镜,然后利于环氧复制技术直接将超反射镜从超光滑母板上复制到普通的浮法玻璃基底上。复制前后超反射镜的性能采...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(09):091601

 12.5-28.5 nm波段Mo/Si非周期多层膜宽带反射镜

谭默言 李浩川 黄秋实 周洪军 霍同林 王晓强 朱京涛

[摘要]采用解析结合数值优化算法,设计了12.5-28.5nm波段Mo/Si非周期多层膜结构的宽带反射镜,入射角为5度,在整个设计波段的反射率均为10%。利用直流磁控溅射技术制备了Mo/Si非周期多层膜,并在同步辐射上测量了反射率。结...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(02):023102

 多层膜劳厄透镜对8 keV X射线的聚焦性能模拟研究

李浩川 黄秋实 朱京涛 王占山

[摘要]基于多层膜技术的劳厄(Laue)透镜能实现硬X射线纳米级聚焦,在X射线微纳分析领域具有重要的应用前景。基于衍射动力学理论,分析了X射线在多层膜劳厄透镜中的传播,计算了不同结构的多层膜劳厄透镜对8 keV X射线的聚焦...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(08):0834001

 磁控溅射制备横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜

涂昱淳 宋竹青 黄秋实 朱京涛 徐敬 王占山 李乙洲 刘佳琪 张力

[摘要]采用磁控溅射方法在Si基板上镀制了横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜。以X射线掠入射反射测量了横向梯度多层膜的膜系结构,在基板65 mm长度范围内,多层膜周期从8.21 nm线性减小到6.57 nm,周期梯度为0.03 nm/mm。国家同...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(09):2419-2422

 磁控溅射制备的W,WSi2,Si单层膜和W/Si,WSi2/Si多层膜应力

黄秋实 李浩川 朱京涛 王晓强 蒋励 王占山 唐永建

[摘要]采用直流磁控溅射技术制备了厚度约100 nm的W,WSi2,Si单层膜和周期约为20 nm,Si膜层厚度与周期的比值为0.5的W/Si,WSi2/Si周期多层膜。利用台阶仪对镀膜前后基底表面的面形进行了测试,计算并比较了不同膜系的应力值。...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(06):1659-1662

 在19.5 nm处高反在30.4 nm处抑制的双功能薄膜

蒋励 王晓强 谭默言 黄秋实 李浩川 周斯卡 朱京涛 王占山

[摘要]研究了极紫外波段的双功能光学元件。采用周期膜叠加的思想, 运用遗传方法优化设计了在19.5 nm处高反, 在30.4 nm处抑制的双功能多层膜。采用磁控溅射技术制备了多层膜, 利用X射线衍射仪测试了多层膜的结构, 在国家同步...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(05):1299-1302

 天文观测用Mo/Si与SiC/Mg多层膜空间环境实验

朱京涛 李浩川 王晓强 黄秋实 王占山 李乙洲 李宏杰 王道荣 赵巨岩 陆伟

[摘要]针对波长30.4nm的太阳He-II谱线研究了Mo/Si与SiC/Mg多层膜反射镜,为考察这些多层膜在空间观测中的潜在应用,测试了空间环境实验前后多层膜的光学稳定性。采用磁控溅射方法,在微晶玻璃制备了多层膜。然后,分别进行了热...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):167

 用于X射线纳米聚焦的多层膜Laue透镜

朱京涛 黄秋实 李浩川 徐敬 王晓强 张众 王占山 陈玲燕

[摘要]针对入射光为8keV的X射线,设计了最外层宽度为15nm的多层膜Laue透镜。Laue透镜外层理论衍射效率达到60%,聚焦分辨率达到10.5nm。利用直流磁控溅射成功制备了总层数为324、总厚度为7.9μm的WSi2/Si多层膜Laue透镜。镀...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):174

 X射线反射和散射方法研究界面粗糙度对具有不同膜对数的W/B4C周期多层膜反射率的影响

代敏 张众 朱京涛 王晓强 徐敬 付秀华 白亮 黄秋实 王占山 陈玲燕

[摘要]本文研究了界面粗糙度对不同膜对数(N)的W/B4C周期多层膜反射率的影响。首先,利用real-structure模型,模拟周期为D=2.5nm,N=50、100、150和200的W/B4C周期多层膜对Cu Kα线的反射率。其次,采用直流磁控溅射方法实...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2009, 7(08):738

 用傅里叶变换方法实现的纳米多层膜性能表征

蒋晖 徐敬 朱京涛 黄秋实 白亮 王晓强 王占山 陈玲燕

[摘要]利用傅里叶变换(FFT)分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线, 模拟了各种制备和测试条件对多层膜结构参数测试结果的影响, 检验了傅里叶变换方法的适用性和精确度。分析结果表明, 相对于传统的反射曲线拟合方法...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(08):2158-2165

 30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜

白亮 朱京涛 徐敬 黄秋实 吴文娟 王晓强 王占山 陈玲燕

[摘要]太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(09):2615-2618

 溅射制备C膜的内压力分析

刘丽琴 王占山 朱京涛 张众 谭默言 黄秋实 陈锐 徐敬 陈玲燕

[摘要]本文研究了直流磁控溅射方法制备C膜的内压力,C薄膜生长过程中有一定能量粒子的碰撞是薄膜内压力产生的主要原因。C膜内压力的数值是通过测量镀膜前后基板曲率半径得到的,通过改变溅射工作气压、溅射靶和基板距离以及...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2008, 6(05):384

 高反射率Mo/B4C多层膜设计及制备

张慧晶 张众 朱京涛 白亮 陈锐 黄秋实 刘丽琴 谭默言 王风丽 王占山 陈玲燕

[摘要]运用遗传算法优化设计了Mo/B4C多层膜结构。入射光入射角度取10°时,设计的理想多层膜膜对数为150,周期为3.59nm,Gamma值(Mo膜厚与周期的比值)为0.41,峰值反射率为33.29%。采用恒功率模式直流磁控溅射方法...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2008, 20(01):0067-70

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