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 多层红外光学薄膜的热应力分析

蒋丽媛 刘定权 马冲 高凌山

[摘要]通常红外光学薄膜是在较高温度下制备得到的。 在低温下应用时, 其产生的热应力会显著影响其光谱性能和可靠性。利用传统桥梁弯曲理论和膜层间位移协调条件分析了多层膜中的水平应变、弯曲应变和热应力分布情况。在详细...

 PDF全文红外 | 2018, 39(05):20

 沉积工艺对YbF3薄膜可靠性的影响

冯毅东1 2 于天燕1 刘定权1

[摘要]从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面,研究了沉积工艺对氟化镱(YbF3)薄膜可靠性的影响。研究结果表明,相较于电阻加热蒸发方式,用电子束加热蒸发得到的YbF3薄膜,其致密性更好,水汽吸收更少;薄膜...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0731002

 温度变化对金属Ag膜反射镜偏振特性的影响研究

蒋丽媛 刘定权 马冲 蔡清元 高凌山

[摘要]空间遥感应用中的光学有效载荷对系统偏振控制提出了越来越高的要求,作为常用的宽光谱反射镜,金属银(Ag)膜反射镜的偏振特性随着环境温度的改变而变化。本文设计并制备了低偏振灵敏度的Ag膜反射镜,研究了反射镜在45...

 PDF全文中国光学 | 2018, 11(04):604

 0.55~0.85 μm波段增透膜的相位调控设计与研制

李大琪 于天燕 陈刚 刘保剑 余德明 段微波 刘定权

[摘要]在0.55~0.85 μm波段范围内,在保证薄膜高透射率的同时对其相位进行调控,是多偏振成像模块项目研制的关键技术。采用等效膜层理论,使用三种氧化物薄膜材料:Ta2O5、Al2O3、SiO2,在光学玻璃H-LaK4L基底上设计并制备...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(07):0731001

 基于组合Fabry-Perot 膜系的中波红外双色滤光片设计

蔡渊 周晟 刘定权

[摘要]双色滤光片的膜系设计方法有多种,如自动优化设计、缓冲层和组合膜系设计、加厚间隔层的Fabry-Perot(F-P)膜系、双峰结构F-P 膜系的多次重复,以及具有分形结构的F-P 膜系设计等方法。但它们在特定通道带宽和通道间距...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(02):0222004

 一种用于超光谱成像系统中消高级次光谱集成滤光片的设计与研制

段微波 李大琪 余德明 刘保剑 刘定权

[摘要]介绍了一种用于工作波段0.4~2.5 μm超光谱成像系统中消高级次光谱集成滤光片的设计与研制.针对offner凸面光栅分光的工作特点,通过在同一光学基片上划分三块不同的几何区域,分波段实现超光谱成像仪全光谱范围内因光栅...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(04):430

 不同沉积温度下单纯蒸镀二氧化硅薄膜的光学特性研究

罗海瀚 蔡清元 李耀鹏 刘定权

[摘要]二氧化硅(SiO2)是一种重要的光学薄膜材料,通常采用电子束蒸发辅以离子束轰击的方式沉积,但在某些情况下,不能借用氧离子束的轰击。着重研究了不同沉积温度下无离子源辅助制备的二氧化硅薄膜的光学特性。通过直接在...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(s2):s231001

 中心波长14.95 μm超窄带滤光片的研制

张麟 倪榕 黄春 李斌 刘定权

[摘要]讨论了大气探测红外分光辐射计第1光谱通道超窄带滤光片的研制情况。采用富碲碲化铅材料作为高折射率膜层材料,通过控制沉积速率、沉积温度、真空度等工艺参数,镀制的膜层具有小的自由载流子浓度,整个膜系具有低的光...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(07):0731003

 不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的光学特性研究

罗海瀚 蔡清元 李耀鹏 刘定权

[摘要]光学薄膜的光学特性是薄膜设计与制备的基础。硅材料是红外光学薄膜中一种重要的高折射率材料。研究了在不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的折射率和消光系数的变化。结果表明,在200 ℃时,硅薄膜折射率最大,消光系数随...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(04):0431001

 基于全内反射的偏振相位差快速测量

蔡清元 罗海瀚 陈刚 刘定权

[摘要]采用琼斯矩阵进行系统偏振分析,提出了一种基于全内反射的偏振相位差快速测量方法。采用光学薄膜特征矩阵理论对薄膜进行光学特性分析,导出了通过测量全内反射偏振相位差以获取体材料折射率以及膜层厚度的关系式。实...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(s2):s231001

 空间分束法消除椭偏测量背反误差

周明 陈刚 刘定权

[摘要]在探索空间分束法消除椭偏测试中背反杂光干扰的过程中,发现该方案能够使光束在待测样品前表面聚焦,后表面发散,发散的背反光将无法进入到探测器中,从而消除背反光的影响。选用石英玻璃和氧化铌单层膜为实验样品,...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(04):0431001

 沉积温度对一氧化硅薄膜聚集密度的影响

罗海瀚 刘定权 尹欣 蔡渊 张莉

[摘要]一氧化硅(SiO)薄膜是中短波红外区最常用的光学薄膜之一,高的聚集密度对于提升光谱稳定性和光学薄膜元件的品质非常重要.选用纯度为99.99%的SiO块状材料,在5×10-4 Pa背景真空中用钼舟蒸发沉积,石英晶振仪将沉积...

 PDF全文光子学报 | 2012, 41(02):170-172

 InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能

王云姬 唐恒敬 李雪 段微波 刘定权 龚海梅

[摘要]为了适应未来红外焦平面探测器系统小型化、集成化和高精度的发展要求,采用了热蒸发方法分别在InP衬底和InGaAs探测器上实现了中心波长为1.38 μm滤光膜的片上集成。利用偏光显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(05):0507002

 组合套镀法制备2.0~2.4 μm波段8通道微型集成滤光片

罗海瀚 李耀鹏 蔡清元 刘定权

[摘要]利用组合套镀法布里珀罗结构光学薄膜滤光片间隔层的方法,选取锗和一氧化硅分别作为高低折射率膜层材料,在短波红外区域2.0~2.4 μm光谱范围内,设计并制备了8通道集成窄带滤光片,单个光谱通道的有效通光区域的宽度...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(11):1107001

 3.5~4.0 μm低温光谱带通滤光片的设计与研制

蔡渊 刘定权 罗海瀚

[摘要]新一代气象卫星对红外带通滤光片的光谱控制提出了很高的要求:滤光片在工作温度(92 K)下的光谱曲线被严格限定在一个由内、外框组成的区域之内。分别采用Ge和SiO作为高低折射率膜层材料,设计了含有4个谐振腔的带通膜...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(01):0107001

 近红外消偏振反射镜的设计与制备

尹欣 刘定权 罗海瀚 段微波 李大琪

[摘要]设计并制备了一种在45°斜入射条件下使用的金属Ag消偏振反射镜,这种反射镜可以实现对目标波长810 nm和850 nm光线的反射,并保持线偏光的偏振方向和偏振消光比。为了消除s和p两偏振分量的分离,在金属Ag膜层上方添加...

 PDF全文光学仪器 | 2012, 34(06):86-90

 蒸发方法对Pb1-xGexTe薄膜微结构与光学性质的影响

谢平 李斌 张素英 刘定权

[摘要]碲锗铅(Pb1-xGexTe)是IV-VI族窄禁带半导体材料PbTe与GeTe的赝二元合金固溶体,是一种具有优势且机械强度高的高折射率光学薄膜材料。采用电子束蒸发和电阻蒸发两种方法在硅基片沉积了Pb1-xGexTe薄膜,使用扫描电镜和...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(s1):s131002

 硅薄膜的短波红外光学特性和1.30 μm带通滤光片

段微波 庄秋慧 李大琪 陈刚 余德明 刘定权

[摘要]在短波红外区域(1~3 μm),硅薄膜材料因其具有折射率高、透明性好、膜层应力易匹配等诸多优点而得到广泛应用。基于改进后的Sellmeier模型拟合出了制备的硅薄膜的短波红外光学特性,以此为基础,选用硅和二氧化硅两种...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1031001

 近红外波段偏振编码用分色片的设计与制作

尹欣 刘定权 段微波 李大琪 陈刚

[摘要]在基于偏振编码的光通信试验中, 需要对不同波长的线偏光进行光路分离, 同时要保持分离后线偏光的偏振方向和消光比, 为此设计和制备了入射角为45°的810 nm波长透射/850 nm波长反射的近红外分色片.为了抑制斜入射...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2012, 31(06):505-509

 可见/红外宽光谱分色片偏振调控的设计

李大琪 刘定权 张凤山

[摘要]针对光学系统中可见/红外宽光谱分色片的偏振特性, 采用诱导透射法设计了满足偏振遥感光学系统能量要求的可见/红外宽光谱分色片, 并对其偏振特性进行了分析. 通过计算获得了透射带400~900 nm可见/红外宽光谱分色片的偏...

 PDF全文光子学报 | 2011, 40(01):5-8

 锗(Ge)光学薄膜在不同沉积温度下的聚集密度研究

罗海瀚 刘定权 尹欣 张莉

[摘要]锗(Ge)薄膜是中长波红外区最常用的光学薄膜之一, 高的聚集密度对于提升光谱稳定性和光学薄膜元件的品质非常重要。选用纯度为 99.99%的 Ge材料, 在 5×10-4 Pa左右的真空压力下用电子束蒸发沉积, 石英晶振仪将沉积...

 PDF全文光电工程 | 2011, 38(12):90-93

 基片表面状态对Pb1-xGexTe薄膜红外光学性能的影响

谢平 李斌 张素英 刘定权

[摘要]在高真空中用热蒸发的方法沉积了碲锗铅(Pb1-xGexTe)薄膜。分析了基片表面状态(粗糙度、 晶向、温度)对膜层结构和红外光学特性的影响,发现光滑表面容易得到致密膜层和高红外折射率; 随着沉积温度的增加,膜层的短波...

 PDF全文红外 | 2010, 31(09):14-17

 32通道红外集成滤光片的设计和误差分析

罗海瀚 尹欣 段微波 刘定权

[摘要]红外高光谱的应用对于微型集成滤光片的需求越来越明显。通过改变间隔层的光学厚度,保持基本膜系不变,在1.9~2.4 μm 的红外光谱范围内设计了32通道的集成滤光片。间隔层的改变可以采取刻蚀或镀膜的方法来实现。考虑...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(s1):s100506

 锗窗口红外宽光谱增透膜的研制

于天燕 成效春 秦杨 刘定权 张凤山

[摘要]红外宽光谱增透膜作为红外光学系统中的关键元件,其研究是一项比较复杂而备受重视的工作。针对风云二号辐射计锗窗口的宽光谱增透膜的要求,通过对镀膜材料在既定工艺条件下的光学参数的准确拟合,采用非对称等效层理论,...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(04):1197-1200

 衬底温度对硒碲铅薄膜结构及红外光学性能的影响

陈忠祥 李斌 张素英 谢平 刘定权 严义埙

[摘要]使用Bridgman法生长的PbTe0.92Se0.08材料在硅衬底上沉积硒碲铅薄膜, 采用X射线衍射(XRD)、电子扫描显微术(SEM)、能量散射X射线分析(EDAX)对薄膜的结构、表面形貌和化学配比进行了分析.结果表明, 沉积的硒碲铅薄膜为多...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2010, 29(06):424-426

 可见-红外宽光谱的两种分色方法

刘定权 李大琪 陈 刚

[摘要]空间光学遥感仪器的工作光谱往往覆盖从可见到长波红外的宽光谱范围,它们是利 用数个甚至二十多个光谱通道获取信息的。因此通常需要一个覆盖全光谱的分色片将光谱一分为二,将不 同光谱分配到透射和反射光路中。通过...

 PDF全文红外 | 2009, 30(01):8-11

 两种中波红外薄膜材料的光学特性研究

段微波 刘定权 张凤山 严义埙

[摘要]锗和一氧化硅是中波红外区域通常使用的薄膜材料, 研究这些材料的特性, 找到最佳制备工艺并拟合出材料的光学常数, 是设计制备中波红外光学薄膜的关键。最佳工艺条件下, 选用以上两种材料, 以蓝宝石为基底, 设计并制备...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(s1):177-180

 抛光工艺对硅基Pb1-xGexTe薄膜性能的影响

张素英 李斌 谢平 刘定权

[摘要]研究了不同的抛光方法(机械抛光、化学腐蚀及化学机械抛光)对硅基板上沉积的Pb1-xGexTe薄膜性能的影响.研究表明,经化学机械抛光(SiO2胶体或Cr^+)的硅基板上所沉积的Pb1-xGexTe薄膜具有致密的结构及平直的界面,其沉积...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2009, 28(06):418-422

 红外光学薄膜材料光学常量计算和在宽带增透膜中的应用

苏伟涛 李斌 刘定权 李大琪 张凤山

[摘要]使用经典洛伦兹谐振子模型对热蒸发制备的锗、硫化锌以及低吸收稀土氟化物薄膜的红外透射光谱进行拟合,得出这些材料在中长波红外区的光学常量.使用这三种材料设计并制备了锗窗口7.7~15μm宽带增透膜系,通过优化设计并...

 PDF全文光子学报 | 2008, 37(03):490-493

 利用等效层的消偏振宽带减反膜设计

马小凤 王丹 刘定权 陈刚 张凤山

[摘要]分析了倾斜入射条件下导致光学薄膜产生偏振的原因, 针对不同偏振态的等效导纳与等效相位进行了分析, 并计算了对称膜层在45°入射条件下不同偏振态的等效折射率与等效相位厚度, 采用等效层方法设计了光学性能良好...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(03):563-566

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