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   将选定结果: 

 一种高精细度MEMS光纤F-P压力传感器

张韬杰 江毅 马维一

[摘要]提出并通过实验研究了一种高精细度微机电系统(MEMS)光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器基于MEMS技术,将硅片与Pyrex#7740玻璃片阳极键合并镀上高反介质膜构成一个高精细度的F-P腔。当外界压力发生变化时,F-P腔...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(17):170625

 典型功能脆性材料磨削

袁巨龙 张韬杰 凌 洋 王 洁 杭 伟

[摘要]为了研究典型功能脆性材料钽酸锂和硅片的磨削特性, 建立了端面磨削模型来计算晶片的比磨削能及其表面的磨削力的分布, 并通过实验分析脆性材料的磨削特性。以进给速度作为变量, 选取砂轮端主轴磨削过程中功率增加率作...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(05):1096

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