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   将选定结果: 

 金属纳米晶复合光纤的制造和应用

马志军 江博凡 许琦 邱建荣

[摘要]金属纳米晶复合光纤结合了金属纳米晶独特的局域表面等离子体共振(LSPR)和光纤器件尺寸小、结构简单、性能稳定、抗干扰能力强等优点。其中,金属纳米晶LSPR引起的高非线性效应、金属增强发光、表面增强拉曼散射等效应能...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(17):170610

 基于二维周期结构衍射的套刻测量技术研究

彭博方 陆海亮 王帆 许琦欣 侯文玫

[摘要]基于衍射光探测的套刻测量技术(DBO)具备高分辨率、高精度及低的工具引起编差(TIS)等显著优点,已逐步取代传统基于成像的套刻测量技术(IBO),成为大规模集成电路22 nm及以下工艺技术节点所广泛采用的套刻测量方式。相...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(02):021201

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