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 基于高迁移率透明导电氧化物的高速、低插入损耗硅基光波导移相器研究

聂立霞 张燕 鲜仕林 秦俊 王会丽 毕磊

[摘要]硅基光波导移相器是硅基光电子系统的重要组成部分。透明导电氧化物(TCO)薄膜的介电常数受栅极电压作用会产生调谐,有望应用于下一代高速、低插入损耗且兼容CMOS的硅基光波导移相器中。TCO较高的光吸收系数限制了其在移...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(15):152302

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