首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 中国激光 'SergeyAvakaw', 共找到 1个内容。

   将选定结果: 

 深紫外光栅反常偏振器件的设计与分析

张冲 胡敬佩 周如意 刘铁诚 SergeyAvakaw 曾爱军 黄惠杰

[摘要]为实现金属光栅偏振器件在光刻机偏振照明系统中的应用,基于共振域光栅的反常偏振效应,提出一种以二氧化硅为基底、铝与氟化镁作为栅线材料的介质-金属光栅偏振器。与传统的亚波长金属光栅偏振器相比,该偏振器的光栅周...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(03):0301005

首页上一页1下一页尾页