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 轴承滚珠等离子体浸没离子注入过程的数值模拟

于永澔 王浪平 王小峰 汤宝寅 甘孔银 刘洪喜 王宇航 王松雁

[摘要]利用轴对称PIC模型对轴承滚珠等离子体浸没离子注入(PIII)过程进行了数值模拟,对归一化电势的扩展情况进行了研究。在滚珠批量处理过程中,为了避免相邻滚珠周围鞘层的相互重叠对注入均匀性造成不良影响,对滚珠在靶台上...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2004, 16(12):1598-1602

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