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 X射线反射和散射方法研究界面粗糙度对具有不同膜对数的W/B4C周期多层膜反射率的影响

代敏 张众 朱京涛 王晓强 徐敬 付秀华 白亮 黄秋实 王占山 陈玲燕

[摘要]本文研究了界面粗糙度对不同膜对数(N)的W/B4C周期多层膜反射率的影响。首先,利用real-structure模型,模拟周期为D=2.5nm,N=50、100、150和200的W/B4C周期多层膜对Cu Kα线的反射率。其次,采用直流磁控溅射方法实...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2009, 7(08):738

 小波变换表征多层膜氧化层、界面层和膜厚漂移

蒋晖 徐敬 朱京涛 潘磊 代敏 谭默言 王占山 陈玲燕

[摘要]用小波变换的方法分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线.从小波变换的自相关函数峰位和峰强度信息中得到了常规曲线拟合方法难以表征的含有氧化层、界面层或厚度漂移的多层膜结构, 利用其作为多层膜的初始结构...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(09):2288-2293

 中子针孔成像点扩展函数模拟研究

蒋敏 胡炳全 马庆力 唐世彪 方祯云 曾代敏

[摘要]应用 Geant4 系统对中子针孔成像的点扩展函数进行了模拟研究.建立了点扩展函数的数学模型,并将其分布图像与能量沉积数据的分布图像作了比较,可看出点扩展函数与能量沉积数据吻合得较好.研究结果表明,在一定偏移量范围...

 PDF全文光子学报 | 2008, 37(02):310-313

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