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 射频CO2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析

侯廉平 陈培峰 王圩 朱洪亮

[摘要]介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点.分析了导光系统的设计原则,讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点.对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图.试验结果和理论相符.利用该陶瓷划片...

 PDF全文激光技术 | 2004, 28(02):137-140

 射频CO2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析

侯廉平 陈陪峰 王圩

[摘要]介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点.分析了导光系统的设计原则,着重讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点.对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图.试验结果和理论相符,系统划片速...

 PDF全文光学 精密工程 | 2004, 12(01):37-42

 射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究

侯廉平 陈培峰 陈清明

[摘要]分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则.通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响.

 PDF全文激光技术 | 2003, 27(04):352-356

 Diamond K-250射频气体激光调制器的设计

侯廉平 陈培锋

[摘要]采用TL494、SN75172等元件组成了Diamond K-250射频气体激光调制器,调制频率、占空比和调制度单独可调.分析了电路的工作原理,绘出了调制频率、占空比所对应的激光输出功率曲线.

 PDF全文激光杂志 | 2003, 24(01):18-19

 射频CO2激光陶瓷基板划片机

侯廉平 陈培峰 陈清明

[摘要]介绍了RFCO2激光器及其对陶瓷基板划片的特点.分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理;给出了整机总体设计方案.对导光系统的激光束进行了模拟,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图.整机性能指...

 PDF全文应用激光 | 2003, 23(04):209-212

 射频CO2激光陶瓷基板划片机

侯廉平 陈陪峰 陈清明

[摘要]介绍了RF CO2激光器及陶瓷基板划片的特点.分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理;给出了整机总体设计方案.对导光系统的激光束进行了模拟,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图.整机性能指标达...

 PDF全文激光杂志 | 2002, 23(06):54-56

 金钢石激光锯片生产工艺研究

侯廉平 陈培锋 雷良泽

[摘要]

 PDF全文激光杂志 | 2002, 23(01):69

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