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 基于利特罗式激光反馈光栅干涉的微位移测量技术

孔令雯 蔡文魁 施立恒 郭冬梅 夏巍 倪小琦 郝辉 王鸣

[摘要]通过在激光反馈干涉(LFI)系统中引入衍射光栅, 提出了一种基于利特罗结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术, 用于一维和二维精密位移的测量。半导体激光器出射的光束以利特罗条件入射至反射式全息光栅, 衍射光沿入射光方向...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(04):0404012

 光纤微机电系统法布里珀罗压力传感器的波分复用

倪小琦 王鸣 陈绪兴 戴霞娟

[摘要]提出了一种用阵列波导光栅复用光纤微机电系统法布里珀罗压力传感器的方法,实现了法布里珀罗压力传感器的准分布式测量。传感器基于法布里珀罗腔干涉的原理,采用微机电系统技术加工制作,用双波长方法解调干涉信号,利用...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(05):776-780

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