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 光纤微机电系统法布里珀罗压力传感器的波分复用

倪小琦 王鸣 陈绪兴 戴霞娟

[摘要]提出了一种用阵列波导光栅复用光纤微机电系统法布里珀罗压力传感器的方法,实现了法布里珀罗压力传感器的准分布式测量。传感器基于法布里珀罗腔干涉的原理,采用微机电系统技术加工制作,用双波长方法解调干涉信号,利用...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(05):776-780

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