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 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计

马敬 齐月静 卢增雄 苏佳妮 杨光华 齐威 张清洋 陈进新

[摘要]根据光谱共焦位移传感器的工作原理及线性轴向色散条件,选择3种色散物镜用玻璃材料N-KZFS11、N-SF66和N-PK52A,并结合像差理论设计了由3个单透镜和2个双胶合透镜组合成的线性色散物镜初始结构。利用Zemax光学设计软件对...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(07):0704009

 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析

孟庆宾 齐月静 卢增雄 苏佳妮 高斐

[摘要]环境温度变化是影响夏克哈特曼波前传感器(SHWS)测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能,分析了环境温度变化引起的微透镜阵列(MLA)变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件(CCD)间距变化以及球面波点源...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(08):0810001

 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析

齐月静 卢增雄 杨光华 刘成涛 彭卓君

[摘要]通过微孔衍射产生高质量的球面波是进行夏克-哈特曼波前传感器(SHWS)高精度标定的关键。采用时域有限差分(FDTD)法,进行了193 nm 准分子激光照明下有限厚度有限电导率微孔的衍射仿真计算,分析了照明物镜数值孔径(NA)...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(02):0208001

 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析

卢增雄 齐月静 齐威 苏佳妮 彭卓君

[摘要]在基于夏克-哈特曼波前传感器的深紫外物镜系统波像差检测中,均匀高亮度的照明光束是实现纳米精度波像差检测的关键。采用时域有限差分法和部分相干性理论对随机排列微孔阵列衍射波前的强度对比度进行了优化。与周期排...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0612007

 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究

丁功明 齐月静 卢增雄 卢荣胜 周培松

[摘要]在亚波长金属单狭缝聚焦结构的基础上,提出了一种易于集成加工的亚波长金属单狭缝填充金属条的超分辨率聚焦结构。采用时域有限差分法(FDTD)对该结构的聚焦特性进行了仿真分析。通过分析研究聚焦结构参数对焦效果的影...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(06):062302

 照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析

卢增雄 金春水 马冬梅

[摘要]点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论,分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(08):0812001

 极紫外光刻离轴照明技术研究

王君 金春水 王丽萍 卢增雄

[摘要]离轴照明技术(OAI)是极紫外光刻技术中提高光刻分辨率的关键技术之一。为了实现考虑掩模阴影效应情况下离轴照明的优化选择,构造了一种新型实现OAI曝光的成像模型。将照射到掩模上的非相干光等效为一系列具有连续入射...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(12):1211003

 微小孔偏差对远场波前质量影响分析

卢增雄 金春水 马冬梅 张海涛

[摘要]点衍射干涉仪(PDI)中小孔质量影响参考球面波的质量,加工和装调误差使实际小孔与理想圆孔之间产生了偏差。利用瑞利索末菲衍射公式,对因小孔加工和装调误差产生的边缘粗糙小孔和椭圆小孔的远场衍射波前质量作了详细的...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(08):0812002

 极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析

卢增雄 金春水 张立超 王丽萍

[摘要]相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度,其中小孔的直径是最主要的因素,在实际加工前,需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论,分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(10):2849-2854

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