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 PECVD技术制备光学薄膜的研究进展

杭良毅 刘卫国 杭凌侠 周顺

[摘要]等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术在制备高激光损伤阈值的激光薄膜和渐变折射率结构的光学薄膜方面有独特的优点。通过大量的工艺研究,人们掌握了调控光学薄膜材料折射率和降低消光系数的方法。目前已知薄膜的最低...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2020, 57(13):130003

 基于可调超表面的激光散斑抑制方法

程进 周顺 孙雪平 蒲欣欣 孙其梁 徐英舜 刘卫国

[摘要]为抑制激光散斑现象,利用时间平均抑制散斑理论的基本思想,设计了一个具有高透射率、随机相位功能的超表面结构,并结合MEMS技术实现了微纳旋转载台的设计制造,实现了超小型的散斑抑制器件制造.实验结果显示激光散斑...

 PDF全文光子学报 | 2020, 49(07):0724001

 超高温堆肥腐殖酸与Cd(Ⅱ)高效络合机制2DCOS分析

文 萍 汤 佳 蔡茜茜 刘晓明 余 震 吕 健 周顺桂

[摘要]超高温堆肥工艺是一种新颖的污泥资源化利用技术, 相比于高温堆肥工艺, 具有发酵温度更高、 腐殖化过程更快、 堆肥产物质量更好等优势。 然而, 超高温堆肥产物作为调理剂在重金属污染土壤修复过程中的应用效果和优势仍...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2020, 40(05):1534

 基于连通性检测的图像椒盐噪声滤波算法

马逸东 周顺勇

[摘要]为了在滤除图像椒盐噪声的同时保护图像边缘细节, 提出了一种基于连通性检测的图像椒盐噪声滤波算法。由于椒盐噪声点的灰度值与正常像素点的灰度值相比往往存在较大差异, 本算法先通过比较像素点灰度值与其邻域像素点...

 PDF全文液晶与显示 | 2020, 35(02):167

 薄膜微结构的近红外透射诱导增强特性

葛少博 刘卫国 周顺 杨鹏飞 李世杰 黄岳田 孙雪平 林大斌 张进

[摘要]在SiNx薄膜中引入微金字塔结构, 综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象, 实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合, 将大面积、高效率、低成本的微结构制备...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(07):0731001

 薄膜光学锥形光栅的制备与光学特性分析

葛少博 刘卫国 周顺 李世杰 杨鹏飞

[摘要]为了在光学薄膜中引入连续轮廓的微结构, 综合利用薄膜的干涉效应与微结构的折反射、衍射效应, 提出一种薄膜光学微结构的制备工艺。基于时域有限差分方法设计了具有可见光波段减反射特性的薄膜光学锥形光栅; 采用单点...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(02):342

 射频聚焦离子源熔石英高确定去除特性研究

惠迎雪 刘卫国 马占鹏 张进 周顺

[摘要]在离子束抛光工艺过程中, 材料确定性去除特性对预测光学元件的各工位材料去除量和驻留时间具有极其重要的作用。采用射频离子源对熔石英光学元件的离子束刻蚀特性进行了研究, 利用ZYGO激光干涉仪获得准确的去除函数, ...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(02):284

 离子源工艺参数对BCB胶刻蚀速率和表面粗糙度的影响

包 强 刘卫国 蔡长龙 周 顺 陈智利 惠迎雪 姬 娇

[摘要]为了研究离子束刻蚀抛光过程中离子源工艺参数对刻蚀速率及表面粗糙度的影响, 采用微波离子源为刻蚀离子源, 以BCB胶为主要研究对象, 研究了离子束能量、离子束电流、氩气流量、氧气流量对BCB胶刻蚀速率及表面粗糙度的...

 PDF全文应用光学 | 2015, 36(05):795

 基于非晶硅的微桥结构阵列制作工艺研究

刘欢 王珊珊 蔡长龙 周顺 刘卫国

[摘要]本文研究了制作非晶硅微桥结构的关键工艺—牺牲层工艺,通过大量实验研究了牺牲层薄膜制备工艺、固化工艺、湿法腐蚀工艺、等离子刻蚀工艺,得到一系列重要的工艺参数。在此基础上,对原有工艺参数进行了优化,解决了...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):218

 直流磁控溅射制备氧化钒薄膜

杨旭 蔡长龙 周顺 刘欢 刘卫国

[摘要]氧化钒薄膜及其在微电子和光电子领域中的应用已成为国际上新颖功能材料研究热点之一。因氧化钒薄膜具有高的电阻温度系数(TCR)值,其阻值随入射辐射引起的温升有非常灵敏的改变,微测辐射热计正是利用了这一特性,因...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):137

 直流磁控溅射制备氧化钒薄膜

杨旭 蔡长龙 周顺 刘欢

[摘要]讨论了在低温下以高纯金属钒作靶材,用直流磁控溅射的方法制备出了氧化钒薄膜。通过设计正交试验,分析了氩气和氧气的流量比,溅射功率,工作压强,基底温度对氧化钒薄膜沉积速率和电阻温度系数TCR的影响,采用RTP-500型快...

 PDF全文光学技术 | 2010, 36(01):151-154

 高功率长寿命氦-镉激光器

曲世浦 金国江 傅蔷 王兴囡 贾祖鑫 周顺彪

[摘要]

 PDF全文中国激光 | 1981, 8(08):54-55

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