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 不同退火处理的台面型In0.83Ga0.17As pin光电二极管暗电流分析

李 平 李 淘 邓双燕 李 雪 邵秀梅 唐恒敬 龚海梅

[摘要]为了研究延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管的暗电流机制。采用两种不同工艺制备了台面型延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管。第一种工艺(M135L-5)是: 台面刻蚀后进行快速热退火(RTA)。第二种工艺(M135L-3)是:...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(05):0520002

 p-i-n InP/In0.53Ga0.47As/InP探测器结构优化

朱敏 陈俊 吕加兵 唐恒敬 李雪

[摘要]利用半导体仿真工具Silvaco对p-i-n InP/In0.53Ga0.47As/InP近红外光探测器进行优化仿真.参考实际器件对红外探测器进行建模, 并将其暗电流、光谱响应仿真结果与实验结果进行拟合, 保证仿真结果的有效性.以减小探测器的...

 PDF全文光子学报 | 2016, 45(01):0104004

 高性能短波红外 InGaAs焦平面探测器研究进展

邵秀梅 龚海梅 李雪 方家熊 唐恒敬 李淘 黄松垒 黄张成

[摘要]中科院上海技物所近十年来开展了高性能短波红外InGaAs 焦平面探测器的研究。0.9~1.7 ?m近红外InGaAs 焦平面探测器已实现了256×1、512×1、1024×1 等多种线列规格,以及320×256、640×512、4...

 PDF全文红外技术 | 2016, 38(08):629

 含有超晶格电子势垒的In0.83Ga0.17As探测器暗电流仿真和验证

李庆法 李雪 唐恒敬 邓双燕 曹高奇 邵秀梅 龚海梅

[摘要]为了获得 In0.83Ga0.17As 探测器的暗电流机制, 采用了 TCAD 软件对吸收层中含有和不含有超晶格电子势垒的p-i-n结构探测器暗电流特性进行仿真,并开展了器件验证.结果表明, 超晶格势垒可以调整器件的能带结构, 改变载流...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(06):662

 n-on-p结构深台面延伸波长InGaAs探测器的ICPCVD钝化工艺

石 铭 邵秀梅 唐恒敬 李 淘 黄 星 曹高奇 王 瑞 李 平 李 雪 龚海梅

[摘要]采用ICP刻蚀(inductively coupled plasma etching)工艺制备了深台面n-on-p结构的可响应到2.4 μm的延伸波长8×1元线列InGaAs探测器.器件表面采用ICP源激发的N2等离子体进行处理,然后再使用ICPCVD(inductively co...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(01):47

 短波红外In0.53Ga0.47As探测器的实时γ辐照研究

黄星 李雪 李淘 唐恒敬 邵秀梅 龚海梅

[摘要]空间应用短波红外InGaAs探测器的性能不断提高,对辐照损伤越来越敏感。通过实时测试的方法,研究了不同剂量和不同剂量率的γ辐照对晶格匹配In0.53Ga0..47As探测器电流-电压特性的影响。发现在反向偏压下,辐照在器件...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(06):901

 异质结InP/InGaAs探测器欧姆接触温度特性研究

曹高奇 唐恒敬 李淘 邵秀梅 李雪 龚海梅

[摘要]为了研究异质结InP/InGaAs探测器帽层的欧姆接触特性,采用Au/p-InP传输线模型(TLM),对比不同退火温度下的接触特性,在480℃、30 s的退火条件下实现室温比接触电阻为3.84×10-4Ω·cm2,同时,对欧姆接触的温...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(06):0721

 可见增强的32×32元平面型InGaAs/In面阵探测器

杨 波 邵秀梅 唐恒敬 邓洪海 李 雪 魏 鹏 王云姬 李 淘 龚海梅

[摘要]为了实现InGaAs探测器响应波段向可见增强, 在传统的外延材料中加入一层InGaAs腐蚀阻挡层, 制备了32×32元平面型InGaAs面阵探测器, 采用机械抛光和化学湿法腐蚀相结合的方法, 去除了InP衬底.结果表明, 探测器的响...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(03):286

 不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究

王云姬 唐恒敬 李雪 邵秀梅 杨波 邓双燕 龚海梅

[摘要]测量了不同扩散掩膜生长方式的截止波长为1.70μm的InGaAs平面探测器的电学性能.其中,SiNx薄膜作为扩散掩膜,分别采用等离子体化学气相沉积(PECVD)和低温诱导耦合等离子体化学气相沉积(ICP-CVD)生长.探测器焊接在杜瓦...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(04):333-336

 InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能

王云姬 唐恒敬 李雪 段微波 刘定权 龚海梅

[摘要]为了适应未来红外焦平面探测器系统小型化、集成化和高精度的发展要求,采用了热蒸发方法分别在InP衬底和InGaAs探测器上实现了中心波长为1.38 μm滤光膜的片上集成。利用偏光显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(05):0507002

 基于N-on-P结构的背照射延伸波长640×1线列InGaAs探测器

朱耀明 李永富 李雪 唐恒敬 邵秀梅 陈郁 邓洪海 魏鹏 张永刚 龚海梅

[摘要]在N-on-P型In0.78Al0.22As/In0.78Ga0.22As外延材料上,采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制备了背照射640×1线列InGaAs探测器芯片,研究了探测器光电性能.结果表明,室温下单元器件响应截止波长和峰值波长分别为...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2012, 31(01):11-15

 InGaAs探测器偏振响应特性的实验研究

唐恒敬 李永富 李雪 龚海梅

[摘要]分析了光电探测器偏振响应产生的原因,定义了探测器偏振敏感度的公式,制备了测试用InGaAs探测器。为了测试器件的偏振敏感度,搭建了测试系统,并对器件的偏振敏感特性进行了测试。结果表明,测试系统具有较好的稳定...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2011, 48(04):040401

 平面型 24元 InGaAs短波红外探测器

邵秀梅 李淘 邓洪海 程吉凤 陈郁 唐恒敬 李雪

[摘要]设计了带有保护环结构的平面型 24×1 InGaAs线列短波红外探测器,利用 n-i-n+型 InP/In0.53Ga0.47As/InP外延材料闭管扩散制备了平面型探测器。LBIC测试显示光敏元没有明显扩大,保护环起到了有效的隔离效果;I-...

 PDF全文红外技术 | 2011, 33(09):501-504

 1024×1元近红外InGaAs线列焦平面组件

李雪 龚海梅 唐恒敬 刘大福 邵秀梅 危峻 方家熊

[摘要]利用分子束外延方法生长的InP/InGaAs/InP双异质结材料,通过台面成型、有效钝化和欧姆接触电极制备等工艺,制作了512×1元的背照射InGaAs光敏芯片,光敏芯片响应波段为0.95~1.7 μm,平均峰值响应率约为0.97 A/W...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(s1):s100305

 近红外256×1元InGaAs焦平面探测器无效像元研究

李雪 邵秀梅 唐恒敬 汪洋 陈郁 龚海梅

[摘要]采用分子束外延方法生长的PIN型InP/InGaAs/InP双异质结材料制备了正照射256×1元近红外探测器,并与128×1奇偶两路读出电路互连,制备了近红外256×1元焦平面探测器.针对近红外InGaAs焦平面探测器中的无...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2011, 30(05):409-413

 AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

李永富 唐恒敬 朱耀明 李淘 殷豪 李天信 李雪 龚海梅

[摘要]为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用, 设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2010, 29(06):401-405

 InGaAs短波红外探测器的偏振响应特性分析

唐恒敬 李永富 朱耀明 李淘 李雪 龚海梅

[摘要]在偏振成像和激光功率测量技术领域,凡涉及偏振光的定量测量,都会由于光束的偏振态对探测器的影响而产生显著的误差。这种现象主要是由于许多类型的光探测器存在偏振敏感响应引起的。本文对光电探测器的偏振响应进行了...

 PDF全文红外 | 2009, 30(11):7-11

 近红外InGaAs线列焦平面组件暗信号研究

李雪 唐恒敬 汪洋 陈新禹 龚海梅 方家熊

[摘要]采用电流-电压曲线研究近红外铟镓砷(InGaAs)光敏芯片的暗电流, 并分析了InGaAs光敏芯片暗电流与InGaAs焦平面组件暗信号的关系。结果表明, 温度下降到273 K时, 反向偏压-100 mV时, 扩散电流是光敏芯片暗电流的主要机制...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(s1):377-381

 台面结铟镓砷探测器中N型磷化铟欧姆接触研究

汪洋 唐恒敬 李雪 龚海梅

[摘要]台面铟镓砷(InGaAs)探测器制备工艺包括n型InP欧姆接触和较好可靠性的延伸电极。采用Cr/Au作为n型InP欧姆接触, 通过传输线模型和俄歇电子谱(AES)研究了Cr/Au与n型InP在不同退火条件下的欧姆接触和界面结构, 实验表明C...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(s1):374-376

 256元InGaAs线列红外焦平面及扫描成像

吕衍秋 韩冰 白云 徐萌 唐恒敬 孔令才 李雪 张永刚 龚海梅

[摘要]报道了用分子束外延(MBE)方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,通过台面制作、硫化处理、ZnS/聚酰亚胺双层钝化、电极生长等工艺,制备了256元正照射台面InGaAs线列探测器,278K时平均峰值探测率为1.33×...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2008, 27(01):7-11

 冰洲石晶体主折射率及其温度系数的精确测量

赵爽 吴福全 王海峰 仲伟纲 李秀珍 唐恒敬 史萌 邓红艳

[摘要]用自准直方法测量了冰洲石晶体的主折射率并计算出了折射率温度系数。通过对Sellmeier方程严格求解,得出Sellmeier方程系数表达式,进而计算出了不同温度下不同波长晶体的主折射率,和实验测量值符合得很好。作为对实...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2007, 5(04):232

 空间遥感用InGaAs短波红外探测器

唐恒敬 吕衍秋 张可锋 吴小利 韩冰 徐勤飞 刘洪洋 李雪 龚海梅

[摘要]简要比较了短波HgCdTe与InGaAs探测器的性能,介绍了PIN探测器的结构和主要性能指标,综述了InGaAs探测器的研究进展,特别是我国空间遥感用InGaAs的研究进展,并说明了研制空间遥感用InGaAs/InP光电探测器的意义。

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2007, 44(05):42-49

 LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区

吕衍秋 乔辉 韩冰 唐恒敬 吴小利 李雪 龚海梅

[摘要]利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区.用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器.测试结果表明,InGaAs线列探...

 PDF全文红外与激光工程 | 2007, 36(05):708-710

 双光路同向起偏测量含金属阳极氧化铝膜的消光比

唐恒敬 吴福全 魏玉花 李清山

[摘要]用阳极氧化的方法制备了阳极氧化铝膜,向其孔中分别镀入了铜和银,利用UV-3101型分光光度计测试了其透射光谱和偏振光谱,并研究了样品的偏振特性与入射角的关系.实验结果表明,这种含金属阳极氧化铝膜在近红外波段...

 PDF全文光子学报 | 2006, 35(11):1752-1755

 三元结构的o光超高透偏光棱镜

任树锋 吴福全 唐恒敬 赵培

[摘要]为了节省稀有昂贵的冰洲石晶体材料,尽量提高偏光棱镜的透射率,提出了一种采用冰洲石晶体与光学玻璃组合的方法,给出了以布儒斯特角入射来提高o光透射率的偏光棱镜设计。样品是一种在ZBaF3玻璃中间夹冰洲石晶体薄片...

 PDF全文光学技术 | 2006, 32(02):0216-218

 椭圆偏振光与部分偏振光检验的理论分析

赵爽 吴福全 唐恒敬

[摘要]为了检测部分偏振光与椭圆偏振光,从复合波片的理论出发,借助于数学工具,对检测方法做了较为详尽的理论分析。结果表明,只要λ/4波片的快(慢)轴与椭圆偏振光的长(短)轴方位一致,则任何椭圆偏振光经过λ/4波片后...

 PDF全文激光技术 | 2006, 30(04):0436-437

 冰洲石-玻璃组合三元结构平行分束偏光镜

任树锋 吴福全 赵培 唐恒敬

[摘要]为了既节省稀有昂贵的冰洲石晶体材料,又实现偏振光的大剪切差输出,采用冰洲石晶体与光学玻璃组合的方法,给出一种新型平行分束偏光镜的设计。该棱镜为ZBaF3玻璃中间夹冰洲石晶体薄片的三元结构,并由大折射率液态胶...

 PDF全文激光技术 | 2006, 30(03):0311-312

 扭曲向列相液晶在复合消色差延迟器件中的应用

史萌 吴福全 赵爽 唐恒敬 邓红艳

[摘要]借助琼斯矩阵对扭曲向列相(TN)液晶的光学性能进行了分析,发现在外加电压调制下的TN液晶盒,在选取的液晶厚度合适时,可等效为对应液晶厚度的特定波长λ/2波片,通过合理的设计搭配,与两个λ/4波片进行组合,使其...

 PDF全文激光技术 | 2006, 30(03):0280-282

 格兰-泰勒棱镜和格兰-付科棱镜透射比的比较研究

唐恒敬 吴福全 邓红艳

[摘要]为了验证空气隙的厚度是否对偏光棱镜的透射比产生影响,对格兰-泰勒棱镜和格兰-付科棱镜的透射比进行了详细的理论分析,并利用UV-3101分光光度计分别对两只格兰-泰勒棱镜和两只格兰-付科棱镜的透射比进行了实验...

 PDF全文激光技术 | 2006, 30(02):0215-217

 冰洲石-玻璃组合e光超高透偏光棱镜

吴福全 任树锋 唐恒敬 赵培

[摘要]为了既节省稀有昂贵的冰洲石晶体材料,又尽量提高偏光棱镜的透射比,设计了一种冰洲石晶体与光学玻璃组合的方法。叙述以布儒斯特角入射来提高偏光棱镜e光透射比的设计方案。该棱镜可用甘油或有机硅胶将FK-2玻璃与冰...

 PDF全文应用光学 | 2006, 27(02):0116-119

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