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 熔融石英光学元件亚表面缺陷三维重构技术

张健浦 孙焕宇 王狮凌 黄进 周晓燕 王凤蕊 刘红婕 刘东

[摘要]熔融石英光学元件的亚表面缺陷直接影响着其成像质量及激光损伤阈值等指标。相比缺陷的二维截面大小以及深度信息,亚表面缺陷三维轮廓及缺陷体积的定量检测结果可以用来更准确地评估熔融石英光学元件的加工质量。结合共...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(02):0216001

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