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 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定

宋莹 赵旭龙 姜岩秀 巴音贺希格 齐向东

[摘要]为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(05):0509001

 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测

刘兆武 李文昊 巴音贺希格 宋莹 姜珊 李晓天 吕强

[摘要]为了提高二维工作台的定位精度, 提出了一种在线检测二维工作台x轴测量镜面形的方法。无需y轴测量镜, 利用三路激光干涉仪检测工作台x轴测量镜的二次微分信息, 对所得数据进行二次积分得到工作台测量镜的精确面形。分析...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0104004

 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析

王玮 巴音贺希格 宋莹 姜珊 潘明忠

[摘要]光束自动对准技术是扫描干涉场曝光系统中的关键技术之一,两曝光光束位置与角度的重合程度直接影响所制作光栅掩模的槽型质量。针对光束对准过程中光束调整的两个运动维度之间存在相互耦合的情况,推导了存在耦合时对...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(12):1205001

 干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响

宋 莹

[摘要]为更好地评价平面全息光栅曝光系统的性能,了解干涉条纹相位变化对光栅制作的影响,基于曝光量表达式,结合光栅掩模槽形二元模型,采用理论分析和数值计算的方法,分析了条纹相位变化对曝光对比度、光栅掩模槽形和曝...

 PDF全文激光技术 | 2016, 40(03):339

 光电测量设备图像高频频谱对主观评价的影响

张宁 沈湘衡 叶露 宋莹

[摘要]分析了光电测量设备图像质量评价研究过程中,图像频谱高频分量对图像质量人眼主观评价影响的途径和解决措施。对清晰图像通过Butterworth 低通滤波器在频域进行了低通滤波,然后利用滤波图像分析了图像高频频谱对人眼...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(04):0411002

 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测

刘兆武 李文昊 王敬开 姜 珊 宋 莹 潘明忠 巴音贺希格

[摘要]针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响, 提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理, 分析...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(09):2134

 应用图学习算法的跨媒体相关模型图像语义标注

李 玲 宋莹玮 杨秀华 陈逸杰

[摘要]针对传统跨媒体相关模型(CMRM)只考虑图像的视觉信息与标注词之间的相关性, 忽略标注词之间所具有的语义相关性的问题, 本文提出了一种新的基于图学习算法的CMRM图像语义标注方法。该方法首先根据运动领域图片训练集中...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(01):229

 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法

姜珊 巴音贺希格 潘明忠 李文昊 宋莹

[摘要]扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,为精确测量干涉条纹周期,根据扫描干涉场曝光系统的特点提出了分束棱镜移动测量干涉条纹周期的方法,根据高斯光束传播理论,分析了该方法的理论误差;...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(07):0705001

 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响

姜珊 巴音贺希格 李文昊 宋莹 潘明忠

[摘要]扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,其设定值与名义值之间的偏差会引起相邻扫描间的干涉条纹相位拼接误差。为获取以扫描曝光方式所制作光栅的衍射波前特征,根据步进扫描曝光的特点及动态...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0905003

 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期测量误差对光栅掩模槽形的影响

姜珊 巴音贺希格 宋莹 潘明忠 李文昊

[摘要]扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期的测量误差是影响曝光过程中相位拼接的主要因素。为制作符合离子束刻蚀要求的高质量光栅掩模,建立了条纹周期测量误差与扫描曝光对比度关系的数学模型,利用光刻胶在显影过程中的非...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(04):0405003

 移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计

宋莹 巴音贺希格 齐向东 张宁 唐玉国

[摘要]建立了移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统以提高全息光栅槽型对比度并降低由外部环境造成的曝光干涉条纹相位移动。根据系统的组成原理, 分析了相位测量系统中莫尔条纹的产生条件及其与干涉条纹相位变化的关系, 给出...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(02):318-324

 利用系统辨识的星敏感器模型修正与测角精度检测

张宁 何家维 宋莹 沈湘衡

[摘要]为了提高星敏感器的测角精度,提出了一种采用系统辨识法对星敏感器模型进行修正以及测角精度检测的方法。首先分析了星敏感器的理论测量模型以及像面坐标与星点目标的空间位置关系,然后给出了用模型修正来提高星敏感...

 PDF全文光电工程 | 2013, 40(01):38-43

 中阶梯光栅光谱仪快速设计与谱图分析的数学模型

陈少杰 巴音贺希格 潘明忠 朱继伟 宋莹 齐向东

[摘要]由于中阶梯光栅光谱仪采用交叉色散的结构,在像面上呈现二维重叠光谱,光谱信息难以直接获取,所以使得光学系统设计与光谱信息处理较为繁琐。建立了一种基于边界限制的中阶梯光栅光谱仪快速设计与二维谱图的分析算法...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(10):1030001

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